[发明专利]近零温度系数的声表面波滤波器及其制备方法在审
| 申请号： | 201810832445.4 | 申请日： | 2018-07-26 |
| 公开（公告）号： | CN109217842A | 公开（公告）日： | 2019-01-15 |
| 发明（设计）人： | 潘峰;傅肃磊;曾飞;李起;王为标;沈君尧 | 申请（专利权）人： | 清华大学;无锡市好达电子有限公司 |
| 主分类号： | H03H9/64 | 分类号： | H03H9/64;C23C14/48;C23C14/35;C23C14/08 |
| 代理公司： | 北京纪凯知识产权代理有限公司 11245 | 代理人： | 关畅 |
| 地址： | 100084 北京市海淀区北京*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种近零温度系数的声表面波滤波器及其制备方法。该声表面波滤波器，由下至上依次包括：石英基片、基片改性层、压电薄膜层和叉指换能器电极；构成所述压电薄膜层的材料为金属掺杂ZnO；所述叉指换能器电极由下至上依次包括金属打底层和金属主体层。该滤波器具有较高的温度稳定性，很容易得到零温度系数的声表面波滤波器；通过改性石英基片和ZnO薄膜，其基片和薄膜的压电常数大大的提高，因此制备得到的器件机电耦合系数高，器件性能优异；同时，在工艺方面，容易实现，易于推广。 | ||
| 搜索关键词： | 声表面波滤波器 零温度系数 制备 叉指换能器电极 压电薄膜层 石英基片 滤波器 机电耦合系数 金属打底层 温度稳定性 工艺方面 金属掺杂 金属主体 器件性能 压电常数 改性层 改性 薄膜 | ||
【主权项】：
1.一种声表面波滤波器，由下至上依次包括：石英基片、基片改性层、压电薄膜层和叉指换能器电极；构成所述压电薄膜层的材料为金属掺杂ZnO；所述叉指换能器电极由下至上依次包括金属打底层和金属主体层。
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