[发明专利]TiAlN/CrAlSiN纳米复合多层涂层及其制备方法在审
| 申请号： | 201810822937.5 | 申请日： | 2018-07-24 |
| 公开（公告）号： | CN108866491A | 公开（公告）日： | 2018-11-23 |
| 发明（设计）人： | 王昆仑;辛艳青;杨田林;宋淑梅;孙珲 | 申请（专利权）人： | 山东大学 |
| 主分类号： | C23C14/32 | 分类号： | C23C14/32;C23C14/06;C23C14/02 |
| 代理公司： | 威海科星专利事务所 37202 | 代理人： | 于涛 |
| 地址： | 264209 山东省*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 本发明涂层材料领域，具体是一种TiAlN/CrAlSiN纳米复合多层涂层，在高速钢基体表面设有TiAl金属过渡层和纳米尺度的TiAlN/CrAlSiN薄膜，其中，TiAlN与CrAlSiN交替沉积形成TiAlN/CrAlSiN薄膜，TiAl金属过渡层和纳米尺度的TiAlN/CrAlSiN薄膜从基体到涂层表面依次沉积形成超晶格纳米多层膜，在调制周期为：TiAlN为10‑20nm，CrAlSiN为20‑30nm时，实现超晶格结构。该涂层总厚度在1.5‑5μm，硬度可达44.88GPa，附着力可达80.60N，摩擦系数为0.316，且断面组织无柱状晶、耐摩擦、耐腐蚀、抗氧化能力强、延展性好，可用于制备切削刀具保护涂层，提升其工作性能，延长使用寿命。 | ||
| 搜索关键词： | 薄膜 金属过渡层 多层涂层 纳米尺度 纳米复合 制备 附着力 延长使用寿命 延展性 超晶格结构 高速钢基体 抗氧化能力 纳米多层膜 调制周期 断面组织 工作性能 交替沉积 摩擦系数 切削刀具 涂层表面 涂层材料 超晶格 耐腐蚀 耐摩擦 可用 无柱 沉积 | ||
【主权项】：
1.一种TiAlN/CrAlSiN纳米复合多层涂层，在高速钢基体表面设有TiAl金属过渡层和纳米尺度的TiAlN/CrAlSiN薄膜，其中，TiAlN与CrAlSiN交替沉积形成TiAlN/CrAlSiN薄膜，TiAl金属过渡层和纳米尺度的TiAlN/CrAlSiN薄膜从基体到涂层表面依次沉积形成超晶格纳米多层膜。
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