[发明专利]冷阱及真空抽气系统在审

专利信息
申请号: 201810819499.7 申请日: 2018-07-24
公开(公告)号: CN108815875A 公开(公告)日: 2018-11-16
发明(设计)人: 李凯;陈立国 申请(专利权)人: 北京铂阳顶荣光伏科技有限公司
主分类号: B01D8/00 分类号: B01D8/00;F04F9/00
代理公司: 北京华进京联知识产权代理有限公司 11606 代理人: 刘葛
地址: 100176 北京市大兴区北京*** 国省代码: 北京;11
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摘要: 发明涉及一种冷阱和真空抽气系统。冷阱包括至少一组冷媒管组,每一所述冷媒管组包括多个并排且间隔布设的冷媒管;每一所述冷媒管具有一迎风侧及与所述迎风侧背对的阻油侧;所述冷媒管的所述迎风侧形成具有凸面形状的迎风面,所述冷媒管的所述阻油侧形成具有凹面形状或平面的阻油面。本发明提供的冷阱和真空抽气系统,兼顾了阻挡泵油分子扩散的功能和从冷阱靠近真空室的一侧至泵内一侧排气顺畅的功能。
搜索关键词: 冷媒管 冷阱 真空抽气系统 迎风 油侧 凹面形状 分子扩散 间隔布设 凸面形状 平面的 迎风面 真空室 泵油 油面 排气 阻挡
【主权项】:
1.一种冷阱,其特征在于,包括至少一组冷媒管组,每一所述冷媒管组包括多个并排且间隔布设的冷媒管;每一所述冷媒管具有一迎风侧及与所述迎风侧背对的阻油侧;所述冷媒管的所述迎风侧形成具有凸面形状的迎风面,所述冷媒管的所述阻油侧形成具有凹面形状或平面的阻油面。
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