[实用新型]一种真空抽气系统有效
申请号: | 201120016839.6 | 申请日: | 2011-01-20 |
公开(公告)号: | CN201981123U | 公开(公告)日: | 2011-09-21 |
发明(设计)人: | 王进东 | 申请(专利权)人: | 南京宇天玻璃有限公司 |
主分类号: | C03C17/00 | 分类号: | C03C17/00 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 210000 *** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本实用新型提供了一种真空抽气系统。该系统在真空抽气泵腔体正面均匀设置真空抽气通道。具体而言,就是在真空抽气泵腔体正面均匀设置相同标准的真空抽气通道,当真空抽气系统开始运作时,几个真空抽气通道开始同时抽气,把腔体内气体分子抽出腔体。由于均匀排布的真空抽气通道同时开始抽气,这样就保证了腔体内真空度的均匀。当玻璃原片经过溅射靶材时,能够增强镀膜工艺的稳定性,保证了玻璃镀膜后不产生任何色差,膜层均匀、平整、光滑且节能效果更佳。 | ||
搜索关键词: | 一种 真空 系统 | ||
【主权项】:
一种真空抽气系统,其特征在于该真空抽气泵腔体正面均匀设置数个同样标准的真空抽气通道。
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