[发明专利]一种拉晶炉在审
| 申请号： | 201810806334.6 | 申请日： | 2018-07-20 |
| 公开（公告）号： | CN110735180A | 公开（公告）日： | 2020-01-31 |
| 发明（设计）人： | 邓先亮 | 申请（专利权）人： | 上海新昇半导体科技有限公司 |
| 主分类号： | C30B15/00 | 分类号： | C30B15/00;C30B29/06 |
| 代理公司： | 11336 北京市磐华律师事务所 | 代理人： | 高伟;翟海青 |
| 地址： | 201306 上海市*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明提供一种拉晶炉，用于生产无缺陷硅单晶棒，包括：内部设置有腔体的炉体；坩埚，设置于所述腔体内；侧部加热器，设置于所述坩埚的外侧；保温层，设置在所述炉体的内壁上；底部加热器，设置于所述坩埚底部与所述炉体底部的所述保温层之间；其中，所述底部加热器包括若干个同心的环形加热部以及设置在所述环形加热部中的电极接口部，其中所述若干个同心的环形加热部之间通过所述电极接口部电连接。本发明的方案改善了长晶过程中温度分布的均匀性。 | ||
| 搜索关键词： | 加热部 炉体 坩埚 底部加热器 电极接口部 保温层 同心的 侧部加热器 硅单晶棒 内部设置 温度分布 电连接 均匀性 拉晶炉 内壁 腔体 体内 生产 | ||
【主权项】：
1.一种拉晶炉，用于生产无缺陷硅单晶棒，其特征在于，包括：/n内部设置有腔体的炉体；/n坩埚，设置于所述腔体内；/n侧部加热器，设置于所述坩埚的外侧；/n保温层，设置在所述炉体的内壁上；/n底部加热器，设置于所述坩埚底部与所述炉体底部的所述保温层之间；/n其中，所述底部加热器包括若干个同心的环形加热部以及设置在所述环形加热部中的电极接口部，其中所述若干个同心的环形加热部之间通过所述电极接口部电连接。/n
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