[发明专利]一种镀膜质量的检测方法及系统有效
| 申请号： | 201810792049.3 | 申请日： | 2018-07-18 |
| 公开（公告）号： | CN108802102B | 公开（公告）日： | 2019-10-29 |
| 发明（设计）人： | 于开洋 | 申请（专利权）人： | 北京铂阳顶荣光伏科技有限公司 |
| 主分类号： | G01N27/00 | 分类号： | G01N27/00;G01N27/04 |
| 代理公司： | 北京华夏泰和知识产权代理有限公司 11662 | 代理人： | 孟德栋 |
| 地址： | 100176 北京市大兴区北京*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种镀膜质量的检测方法及系统，该检测方法包括：检测金属镀膜产生的开路电压值；在金属镀膜的至少一个待检测区域之间施加恒定电流值，分别检测每个待检测区域产生的反馈电压值；根据恒定电流值和反馈电压值分别计算每个待检测区域的表面电阻值；若所述开路电压值符合第一预设阈值范围，且所有所述表面电阻值符合第二预设阈值范围，则所述金属镀膜的镀膜质量合格。本发明实施例通过对镀膜的开路电压值和表面电阻值的检测过程进行控制，并根据开路电压值和表面电阻值评价镀膜的镀膜质量，实现了自动化检测评价金属镀膜的镀膜质量，极大的提高了工作效率，有效的节约了检测成本。 | ||
| 搜索关键词： | 镀膜 检测 表面电阻 金属镀膜 开路电压 待检测区域 反馈电压 恒定电流 预设 工作效率 自动化 施加 节约 | ||
【主权项】：
1.一种镀膜质量的检测方法，应用于半导体表面的金属镀膜，其特征在于，该检测方法包括：在无光环境中启动光源照射所述金属镀膜，检测所述金属镀膜产生的开路电压值；在接收到所述开路电压值后关闭所述光源，在所述金属镀膜的至少一个待检测区域之间施加恒定电流值，分别检测每个所述待检测区域产生的反馈电压值；根据所述恒定电流值和所述反馈电压值分别计算每个所述待检测区域的表面电阻值；若所述开路电压值符合第一预设阈值范围，且所有所述表面电阻值符合第二预设阈值范围，则所述金属镀膜的镀膜质量合格。
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