[发明专利]一种镀膜质量的检测方法及系统

权利要求书

1.一种镀膜质量的检测方法，应用于半导体表面的金属镀膜，其特征在于，该检测方法包括：

在无光环境中启动光源照射所述金属镀膜，检测所述金属镀膜产生的开路电压值；

在接收到所述开路电压值后关闭所述光源，在所述金属镀膜的至少一个待检测区域之间施加恒定电流值，分别检测每个所述待检测区域产生的反馈电压值；

根据所述恒定电流值和所述反馈电压值分别计算每个所述待检测区域的表面电阻值；

若所述开路电压值符合第一预设阈值范围，且所有所述表面电阻值符合第二预设阈值范围，则所述金属镀膜的镀膜质量合格。

2.根据权利要求1所述的检测方法，其特征在于，根据所述恒定电流值和所述反馈电压值分别计算每个所述待检测区域的表面电阻值具体包括：

从预存储的引脚间距与表面电阻值计算公式对应表中，获取为所述待检测区域之间施加恒定电流值的引脚间距对应的表面电阻值计算公式；

将所述恒定电流值和所述反馈电压值代入所述表面电阻值计算公式计算所述待检测区域的表面电阻值。

3.根据权利要求2所述的检测方法，其特征在于，该检测方法还包括：

获取不同引脚间距下的多组恒定电流值、反馈电压值和对应的表面电阻值；

基于机器学习算法，根据不同引脚间距下的多组恒定电流值、反馈电压值和对应的表面电阻值得到不同引脚间距对应的表面电阻值计算公式；

将每个引脚间距和对应的表面电阻值计算公式存储进所述引脚间距与表面电阻值计算公式对应表中。

4.根据权利要求1所述的检测方法，其特征在于，若所述开路电压值符合第一预设阈值范围，且所有所述表面电阻值符合第二预设阈值范围，则所述金属镀膜的镀膜质量合格，具体包括：

将所述开路电压值与第一预设阈值进行比较；

计算所有所述表面电阻值的平均值和方差值；

将所述平均值与第二预设阈值进行比较，将方差值与第三预设阈值进行比较；

当所述开路电压值大于所述第一预设阈值，且所述表面电阻值的平均值大于第二预设阈值，所述表面电阻值的方差值小于第三预设阈值时，所述金属镀膜的镀膜质量合格。

5.根据权利要求1-4中任一所述的检测方法，其特征在于，该检测方法还包括：

将所述镀膜质量、金属镀膜的开路电压值和每个所述待检测区域对应的恒定电流值、反馈电压值和表面电阻值进行存储。

6.一种镀膜质量的检测系统，其特征在于，包括：处理器、控制器、光源、模拟量信号输出模块和模拟量信号输入模块；所述处理器包括：计算器和比较器；所述光源开启时照射在金属镀膜表面；

所述处理器分别与所述控制器、模拟量信号输出模块和模拟量信号输入模块连接；所述控制器与所述光源连接；

所述处理器，用于向所述控制器发送开启指令，以在无光环境中启动所述光源照射所述金属镀膜，并通过所述模拟量信号输入模块检测所述金属镀膜产生的开路电压值；

所述处理器，还用于在接收到所述开路电压值后向所述控制器发送开闭指令关闭所述光源，通过所述模拟量信号输出模块在所述金属镀膜的至少一个待检测区域之间施加恒定电流值，并通过所述模拟量信号输入模块分别检测每个所述待检测区域产生的反馈电压值；

所述处理器，还用于通过所述计算器根据所述恒定电流值和所述反馈电压值分别计算每个所述待检测区域的表面电阻值；

所述处理器，还用于通过所述比较器将所述开路电压值与第一预设阈值范围进行比较，将所有所述表面电阻值分别与第二预设阈值范围进行比较，若所述开路电压值符合第一预设阈值范围，且所有所述表面电阻值符合第二预设阈值范围，则所述金属镀膜的镀膜质量合格。

7.根据权利要求6所述的检测系统，其特征在于，该检测系统还包括：存储器，所述存储器中存储有引脚间距与表面电阻值计算公式对应表；所述计算器与所述存储器连接；

所述计算器，用于从所述引脚间距与表面电阻值计算公式对应表中，获取所述模拟量信号输出模块的引脚间距对应的表面电阻值计算公式；将所述恒定电流值和所述反馈电压值代入所述表面电阻值计算公式计算所述待检测区域的表面电阻值。