[发明专利]一种非对称传输信号可调的微纳结构及其制备方法

摘要

本发明属于光学特性调控技术领域，具体涉及一种非对称传输信号可调的微纳结构及其制备方法，本申请实施例微纳结构本体由介质膜和TCO薄膜连接构成，TCO薄膜上嵌有与介质膜方向相同且互相平行排列的第一矩形条、第二矩形条和第三矩形条，第二矩形条两侧分别设有与其连接的第四矩形条和第五矩形条，第二矩形条和第三矩形条上分别连接有第一电极和第二电极用于连接外电路改变电场，改变第二矩形条和第三矩形条之间的电场，从而改变第二矩形条右侧TCO薄膜的介电环境，使得第二矩形条两侧具有相同或不同的折射率，从而达到调节AT信号的目的，本申请实施例结构简单，调节方便，具有很好的应用和推广价值。

主权项

1.一种非对称传输信号可调的微纳结构，其特征在于：包括微纳结构本体和基底层，所述微纳结构本体连接于所述基底层上；所述微纳结构本体由一介质膜和TCO薄膜连接构成；所述TCO薄膜上嵌有与介质膜方向相同且互相平行排列的第一矩形条、第二矩形条和第三矩形条；所述第一矩形条、第二矩形条和第三矩形条之间间距相等；所述第一矩形条和第三矩形条分别与所述TCO薄膜的两条侧边连接；所述第二矩形条两侧分别设有相互对称的第四矩形条和第五矩形条；所述第四矩形条和第五矩形条一端与所述第二矩形条连接，另一端自由；所述第四矩形条和第五矩形条分别与所述第二矩形条具有一相同夹角；所述夹角不等于0°和180°；所述第一矩形条、第二矩形条和第三矩形条完全相同；所述第四矩形条和第五矩形条完全相同；所述第二矩形条和第三矩形条上分别连接有第一电极和第二电极用于连接外电路调节电场；所述第一矩形条、第二矩形条、第三矩形条、第四矩形条和第五矩形条均由贵金属材料制成；所述第一矩形条、第二矩形条、第三矩形条、第四矩形条和第五矩形条均与所述TCO薄膜之间具有一狭缝。