[发明专利]一种蓝宝石晶棒切割抛光装置在审
| 申请号： | 201810750664.8 | 申请日： | 2018-07-10 |
| 公开（公告）号： | CN108890423A | 公开（公告）日： | 2018-11-27 |
| 发明（设计）人： | 王慧远 | 申请（专利权）人： | 山西中聚晶科半导体有限公司 |
| 主分类号： | B24B7/16 | 分类号： | B24B7/16;B24B41/06;B24B47/12;B24B47/20;B24B55/02;B28D1/00;B28D5/02;B28D7/00;B28D7/02;B28D7/04 |
| 代理公司： | 太原晋科知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 14110 | 代理人： | 赵科 |
| 地址： | 030600 山西省晋中市山*** | 国省代码： | 山西;14 |
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| 摘要： | 本发明提供一种蓝宝石晶棒切割抛光装置，包括机架、晶棒固定装置、切割片和喷淋系统，所述晶棒固定装置包括三爪卡盘，所述三爪卡盘设置于卡盘座上，卡盘与卡盘座通过轴承连接，卡盘由第一伺服电机驱动，卡盘座设置于导轨上，其底部安装有丝母，所述丝母匹配有丝杆，丝杆横向设置并由第二伺服电机驱动，所述切割片包括外切片和内抛光片。本发明将切割、抛光两道工序一次完成，避免重复上料、取料，大大提高了工作效率，也使加工精度大大提高。 | ||
| 搜索关键词： | 卡盘座 伺服电机驱动 蓝宝石晶棒 晶棒固定 切割抛光 三爪卡盘 切割片 卡盘 丝杆 丝母 工作效率 横向设置 喷淋系统 一次完成 轴承连接 抛光 抛光片 导轨 切片 取料 上料 切割 重复 加工 | ||
【主权项】：
1.一种蓝宝石晶棒切割抛光装置，包括机架、晶棒固定装置、切割片和喷淋系统，其特征是：所述晶棒固定装置包括三爪卡盘，所述三爪卡盘设置于卡盘座上，卡盘与卡盘座通过轴承连接，卡盘由第一伺服电机驱动，卡盘座设置于导轨上，其底部安装有丝母，所述丝母匹配有丝杆，丝杆横向设置并由第二伺服电机驱动，所述切割片包括外切片和内抛光片。
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