[发明专利]一种半导体制程废气中氟化物的净化装置

摘要

本发明提供一种半导体制程废气中氟化物的净化装置，涉及净化装置技术领域。该半导体制程废气中氟化物的净化装置，包括机架，所述机架的左端通过废气管连通有废弃输出端，所述机架的顶端固定安装有火焰反应腔，所述火焰反应腔的内壁底端固定安装有空心管，所述空心管的顶部固定安装燃气反应装置，所述燃气反应装置包括燃气反应箱，所述火焰反应腔通过进气口连通有燃气输出端，所述燃气反应箱的外表面固定安装有火焰喷头。该半导体制程废气中氟化物的净化装置，把废气内的氟化物净化的更加彻底，更加高效，节约了净化时间，同时采用热能的循环利用节约能源，更加环保，使得把高温反应与水反应结合，节约反应时间和节约能源。

主权项

1.一种半导体制程废气中氟化物的净化装置，包括机架(1)，其特征在于：所述机架(1)的左端通过废气管连通有废气输出端(2)，所述机架(1)的顶端固定安装有火焰反应腔(3)，所述火焰反应腔(3)的内壁底端固定安装有空心管(4)，所述空心管(4)的顶部固定安装燃气反应装置(5)，所述燃气反应装置(5)包括燃气反应箱(52)，所述火焰反应腔(3)通过进气口连通有燃气输出端(51)，所述燃气反应箱(52)的外表面固定安装有火焰喷头(6)，所述燃气反应箱(52)的外表面相对的一侧固定安装有水反应腔(7)，所述燃气反应箱(52)与燃气输出端(51)连通有燃气输出管(8)，所述机架(1)的内壁底部通过螺栓固定安装有一号水泵(9)，所述一号水泵(9)与空心管(4)连通有一号水管(10)，所述机架(1)的内壁底部固定安装有水箱(11)，所述一号水泵(9)与水箱(11)连通有二号水管(12)，所述火焰反应腔(3)的内部底端固定焊接有打火装置(13)，所述打火装置(13)包括打火室(131)，所述打火室(131)的内部固定焊接用打火石(132)，所述打火石(132)的外表面滑动连接有摩擦石(133)，所述摩擦石(133)远离打火石(132)的一端活动连接有推杆(134)，所述推杆(134)的外表面相背的一侧固定安装有弹簧(135)，所述打火室(131)的内壁开设有漏气孔(136)，所述火焰反应腔(3)的右侧固定焊接有风机室(14)，所述风机室(14)的内部通过安装板固定安装有风机(15)，所述机架(1)的顶部固定焊接有水洗反应室(16)，所述风机(15)的出气管顶部固定安装有风喷头(17)，所述水洗反应室(16)的内壁右侧固定焊接有二氧化硅反应盒(18)，所述机架(1)的底部通过螺栓固定安装有二号水泵(19)，所述二号水泵(19)与水箱(11)连通有三号水管(20)，所述二号水泵(19)与水洗反应室(16)连通有四号水管(21)，所述水洗反应室(16)的内壁底端固定安装有轴承装置(22)，所述水洗反应室(16)的顶部通过安装板固定安装有电机(23)，所述轴承装置(22)的顶部活动连接有旋转管(24)，所述水洗反应室(16)内部设置有水槽(25)。