[发明专利]一种钨铜合金表面类金刚石处理的方法在审
| 申请号： | 201810726152.8 | 申请日： | 2018-07-04 |
| 公开（公告）号： | CN108823542A | 公开（公告）日： | 2018-11-16 |
| 发明（设计）人： | 黄友庭;周晓龙;陈文哲 | 申请（专利权）人： | 福建工程学院 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35;C23C14/06;C23C14/02 |
| 代理公司： | 福州市众韬专利代理事务所(普通合伙) 35220 | 代理人： | 方金芝;黄秀婷 |
| 地址： | 350108 福建省福州*** | 国省代码： | 福建;35 |
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| 摘要： | 本发明属于一种在金属基复合材料表面镀覆耐磨性类金刚石碳材料的类金刚石处理的方法，包括如下步骤：(1)研磨清洗(2)磁控溅射(3)去应力退火，针对现有的钨铜合金在使用高温耐磨件时易腐蚀、抗磨损性能差的缺点，该方法处理后的钨铜合金表面膜层厚度均匀、表面硬度高、耐磨性好、热传递良好、耐腐蚀，且膜基结合良好。 | ||
| 搜索关键词： | 耐磨性 类金刚石 钨铜合金 金属基复合材料 类金刚石碳材料 抗磨损性能 去应力退火 表面镀覆 表面硬度 磁控溅射 金表面膜 研磨 层厚度 耐腐蚀 耐磨件 热传递 膜基 钨铜 清洗 腐蚀 | ||
【主权项】：
1.一种钨铜合金表面类金刚石处理的方法，其特征在于，包括如下步骤：(1)研磨清洗将钨铜合金的表面先用800‑1000目的砂纸研磨，然后再抛光成镜面，最后在超声波中依次用丙酮清洗5～10分钟和去离子水清洗2～5分钟，最后再用N2吹干；(2)磁控溅射将经步骤(1)的钨铜合金装在磁控溅射设备的腔体中，将1‑2个靶材钨、和1‑2个靶材石墨设置于以所述的钨铜合金为中心，20～25mm为半径的圆周上，且不同靶材交替间隔分布；抽真空至3～5mPa，然后再通入纯度为99.99％的高纯氩气至0.5～0.8Pa；钨铜合金溅射面先旋转至靶材钨前，然后打开溅射靶材电源开关进行溅射，溅射时，控制真空度为0.1～0.3Pa，电流强度为0.5‑1A，沉积温度为180～220℃，沉积时间为60～90min；靶材的旋转速率为3～5转/分钟；(3)去应力退火将经过步骤(2)的钨铜合金，放在600～800℃的真空炉中，在真空度不大于0.1Pa的条件下保温2～3小时，然后随炉冷却至室温。
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