[发明专利]一种单晶炉用内导流筒在审
| 申请号： | 201810723743.X | 申请日： | 2018-07-04 |
| 公开（公告）号： | CN108796602A | 公开（公告）日： | 2018-11-13 |
| 发明（设计）人： | 苏光都;杨小刚;徐文静;李航;冯涛 | 申请（专利权）人： | 江西中昱新材料科技有限公司 |
| 主分类号： | C30B15/00 | 分类号： | C30B15/00;C30B29/06 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 罗满 |
| 地址： | 334000 江西省上*** | 国省代码： | 江西;36 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种单晶炉用内导流筒，所述内导流筒包括导流筒体，所述导流筒体包括上口部与下口部，所述上口部面积大于所述下口部面积，所述导流筒体为石英导流筒体。所述内导流筒包括导流筒体，该导流筒体的材质为石英。相比于传统的石墨材质的导流筒体，本发明所提供的内导流筒的隔热性能更高。当有惰性气体从内导流筒的上口部通入内导流筒时，内导流筒对单晶炉内高温的传导，不可避免的会加热通入内导流筒的惰性气体，从而使得惰性气体的温度升高。而本发明中内导流筒的导热率低，不会过多升高通入内导流筒的惰性气体的温度，进而保证了惰性气体的冷却效果，增加了制备单晶硅过程中的拉晶速度。 | ||
| 搜索关键词： | 内导流筒 导流筒体 惰性气体 单晶炉 上口部 下口部 石英 单晶硅 隔热性能 冷却效果 石墨材质 传统的 导热率 传导 拉晶 制备 加热 升高 保证 | ||
【主权项】：
1.一种单晶炉用内导流筒，其特征在于，所述内导流筒包括导流筒体，所述导流筒体包括上口部与下口部，所述上口部面积大于所述下口部面积，所述导流筒体为石英导流筒体。
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