[发明专利]一种单晶炉用内导流筒在审
| 申请号： | 201810723743.X | 申请日： | 2018-07-04 |
| 公开（公告）号： | CN108796602A | 公开（公告）日： | 2018-11-13 |
| 发明（设计）人： | 苏光都;杨小刚;徐文静;李航;冯涛 | 申请（专利权）人： | 江西中昱新材料科技有限公司 |
| 主分类号： | C30B15/00 | 分类号： | C30B15/00;C30B29/06 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 罗满 |
| 地址： | 334000 江西省上*** | 国省代码： | 江西;36 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 内导流筒 导流筒体 惰性气体 单晶炉 上口部 下口部 石英 单晶硅 隔热性能 冷却效果 石墨材质 传统的 导热率 传导 拉晶 制备 加热 升高 保证 | ||
【权利要求书】：
1.一种单晶炉用内导流筒，其特征在于，所述内导流筒包括导流筒体，所述导流筒体包括上口部与下口部，所述上口部面积大于所述下口部面积，所述导流筒体为石英导流筒体。
2.根据权利要求1所述的内导流筒，其特征在于，所述导流筒体的石英纯度不小于99.997％。
3.根据权利要求1所述的内导流筒，其特征在于，所述导流筒体的内壁表面光滑。
4.根据权利要求1所述的内导流筒，其特征在于，所述导流筒体的侧壁围成一直线圆台形内腔。
5.根据权利要求1所述的内导流筒，其特征在于，所述导流筒体的侧壁围成一弧线圆台形内腔。
6.根据权利要求1所述的内导流筒，其特征在于，所述导流筒体包括上导流筒体和下导流筒体，所述上导流筒体围成一圆柱形内腔，所述下导流筒体围成一圆台形内腔。
7.根据权利要求1至6任一项权利要求所述的内导流筒，其特征在于，所述导流筒体外壁表面设置有多孔的气泡层。
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