[发明专利]基于磁致伸缩压电材料的磁电天线及其制备方法有效
| 申请号： | 201810718545.4 | 申请日： | 2018-07-03 |
| 公开（公告）号： | CN108879071B | 公开（公告）日： | 2019-12-06 |
| 发明（设计）人： | 吕晓洲;赵少博;唐弘尧 | 申请（专利权）人： | 西安电子科技大学 |
| 主分类号： | H01Q1/22 | 分类号： | H01Q1/22;H01Q1/36;H01L41/08;H01L41/113;H01L41/12;H01L41/29;H01L41/35;H01L41/47 |
| 代理公司： | 61237 西安知诚思迈知识产权代理事务所(普通合伙) | 代理人： | 麦春明<国际申请>=<国际公布>=<进入 |
| 地址： | 710126 陕西省*** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种基于磁致伸缩压电材料的磁电天线，包括磁致伸缩材料层、压电材料层、叉指电极和硅悬浮衬底。基于磁致伸缩压电材料的磁电天线的制备方法，首先对整块硅衬底进行刻蚀使其成为硅悬浮衬底，进而采用磁控溅射法在硅悬浮衬底表面制作叉指电极，进一步采用磁控溅射法在叉指电极上沉积压电材料层，最后采用磁控溅射法在压电材料层上沉积磁致伸缩材料层制得磁电天线。本文的天线利用磁致伸缩效应将电磁波变换为机械振动，并利用高灵敏振动感应系统将机械振动转换为电信号，可实现电磁波的间接感应，且不受电学天线λ/4波长理论限制，具有高灵敏、小型化的优点，并且本发明可将现有天线尺寸缩小数个数量级。 | ||
| 搜索关键词： | 天线 磁控溅射法 叉指电极 磁致伸缩 压电材料 磁电 磁致伸缩材料层 悬浮 压电材料层 机械振动 电磁波 衬底 制备 灵敏 沉积压电材料 磁致伸缩效应 衬底表面 尺寸缩小 电学天线 个数量级 间接感应 理论限制 振动感应 硅衬底 波长 沉积 得磁 刻蚀 整块 转换 制作 | ||
【主权项】：
1.基于磁致伸缩压电材料的磁电天线，其特征在于，包括硅悬浮衬底(4)，硅悬浮衬底(4)上依次设有叉指电极(3)和压电材料层(2)，压电材料层(2)上设有磁致伸缩材料层(1)，叉指电极(3)设于压电材料层(2)内部，压电材料层(2)两端与硅悬浮衬底(4)相接触，硅悬浮衬底(4)上底面和下底面之间镂空；硅悬浮衬底(4)上底面厚度为压电材料层(2)和磁致伸缩材料层(1)厚度之和的0.5-5倍。/n
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