[发明专利]一种微通道板测试方法及系统有效
| 申请号： | 201810700239.8 | 申请日： | 2018-06-29 |
| 公开（公告）号： | CN109174698B | 公开（公告）日： | 2020-11-24 |
| 发明（设计）人： | 王运佳;王一非;刘朝华;高连山 | 申请（专利权）人： | 北京无线电计量测试研究所 |
| 主分类号： | B07C5/344 | 分类号： | B07C5/344;G04F5/14 |
| 代理公司： | 北京国昊天诚知识产权代理有限公司 11315 | 代理人： | 许志勇 |
| 地址： | 100854 北京市海*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本申请公开了一种微通道板测试方法及系统，能够对微通道板进行电子和离子两种条件下的二次电子发射系数的测试。所述测试方法先设定微通道板的二次电子发射系数第一合格范围和第二合格范围。然后使用电子枪测试系统对微通道板进行第一次测试，筛选出满足所述第一合格范围的微通道板。再使用离子测试系统对所述满足第一合格范围的微通道板进行第二次测试，筛选出满足所诉第二合格范围的微通道板。其中离子测试系统可以是铯离子测试系统，所述铯离子测试系统的发射源组件包括铯炉和热离丝单元。加热铯炉产生铯原子束流，再通过热离丝单元离化为铯离子束流。再通过所述铯离子束流检测微通道板的二次电子发射系数。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 通道 测试 方法 系统 | ||
【主权项】：
1.一种微通道板测试方法，其特征在于，包括以下步骤：设定微通道板的二次电子发射系数第一合格范围和第二合格范围；使用电子枪测试系统对微通道板进行第一次测试，筛选出满足所述第一合格范围的微通道板；使用离子测试系统对所述满足第一合格范围的微通道板进行第二次测试，筛选出满足所诉第二合格范围的微通道板；所述离子测试系统包括发射源组件、真空组件和信号检测组件，所述离子测试系统的原理为所述信号检测组件检测所述发射源组件发射的离子束流在所述真空组件提供的真空环境下穿过待检测微通道板后的强度，计算所述微通道板的二次电子发射系数。
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