[发明专利]三极管式电离真空计和压力测定方法在审
| 申请号： | 201810694986.5 | 申请日： | 2018-06-29 |
| 公开（公告）号： | CN109238559A | 公开（公告）日： | 2019-01-18 |
| 发明（设计）人： | 宫下刚;中岛丰昭;福原万沙洋;佐藤贵伸 | 申请（专利权）人： | 株式会社爱发科 |
| 主分类号： | G01L21/32 | 分类号： | G01L21/32;G01L27/00 |
| 代理公司： | 北京柏杉松知识产权代理事务所(普通合伙) 11413 | 代理人： | 袁波;刘继富 |
| 地址： | 日本神*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供一种能够正确地对测定对象物的内部的压力进行测定的三极管式电离真空计。本发明所涉及的三极管式电离真空计具有灯丝、栅网和离子收集极。所述栅网配置在所述灯丝的周围。所述离子收集极为筒状，配置在所述栅网的周围，并由300K时的热导率为173W/(m·K)以上的材料构成。 | ||
| 搜索关键词： | 电离真空计 三极管式 栅网 灯丝 测定对象物 离子收集极 离子收集 压力测定 热导率 配置 筒状 | ||
【主权项】：
1.一种三极管式电离真空计，具有：灯丝；栅网，其配置在所述灯丝的周围；以及离子收集极，其为筒状，配置在所述栅网的周围，并由300K时的热导率为173W/(m·K)以上的材料构成。
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