[发明专利]一种配向膜预烘烤炉设备及配向膜预烘烤方法在审
| 申请号： | 201810679127.9 | 申请日： | 2018-06-27 |
| 公开（公告）号： | CN108828804A | 公开（公告）日： | 2018-11-16 |
| 发明（设计）人： | 彭文贤 | 申请（专利权）人： | 武汉华星光电技术有限公司 |
| 主分类号： | G02F1/13 | 分类号： | G02F1/13;G02F1/1337 |
| 代理公司： | 深圳市威世博知识产权代理事务所(普通合伙) 44280 | 代理人： | 钟子敏 |
| 地址： | 430070 湖北省武汉市*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种配向膜预烘烤炉设备和配向膜预烘烤方法。配向膜预烘烤炉设备包括：第一支架，其朝上一侧表面分布有若干第一顶针，若干所述第一顶针的尖端共同定义第一支撑面；第二支架，其朝上一侧表面分布有若干第二顶针，若干所述第二顶针的尖端共同定义第二支撑面；驱动机构，用于驱动所述第二支架上下及平移，以使得所述第二支撑面至少依序经历高于所述第一支撑面、高于所述第一支撑面时平移、低于所述第一支撑面的状态。通过上述方式，本发明能够实现配向膜预烘烤炉设备中预烘烤的基板可以在第一顶针和第二顶针之间来回移动，从而能够避免配向膜预烘烤制程中出现Pin Mura的问题。 | ||
| 搜索关键词： | 预烘烤 配向膜 顶针 支撑面 炉设备 支架 平移 表面分布 朝上 驱动机构 基板 制程 驱动 移动 支撑 | ||
【主权项】：
1.一种配向膜预烘烤炉设备，其特征在于，包括：第一支架，其朝上一侧表面分布有若干第一顶针，若干所述第一顶针的尖端共同定义第一支撑面；第二支架，其朝上一侧表面分布有若干第二顶针，若干所述第二顶针的尖端共同定义第二支撑面；驱动机构，用于驱动所述第二支架上下及平移，以使得所述第二支撑面至少依序经历高于所述第一支撑面、高于所述第一支撑面时平移、低于所述第一支撑面的状态。
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