[发明专利]可调控电磁波吸收的超材料晶体结构及其制备方法有效
| 申请号： | 201810651434.6 | 申请日： | 2018-06-22 |
| 公开（公告）号： | CN110632687B | 公开（公告）日： | 2021-07-27 |
| 发明（设计）人： | 欧欣;张师斌;林家杰;黄浩;游天桂;黄凯;王曦 | 申请（专利权）人： | 中国科学院上海微系统与信息技术研究所 |
| 主分类号： | G02B5/00 | 分类号： | G02B5/00;G02B1/00 |
| 代理公司： | 上海泰能知识产权代理事务所(普通合伙) 31233 | 代理人： | 宋缨 |
| 地址： | 200050 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明提供一种可调控电磁波吸收的超材料晶体结构及制备方法，制备包括：提供闪耀光栅衬底，表面形成有周期排布的锯齿状阵列结构，包括具有第一倾角的第一槽面及具有第二倾角的第二槽面；于闪耀光栅衬底上形成交替多层膜结构，包括若干个超材料结构单元，包括第一等效介电常数单元和第二等效介电常数单元，二者之间形成电磁波吸收界面，本发明的超材料晶体结构可按需调控电磁波的吸收，可以通过调控超材料晶体结构支持的界面波矢，所述多层膜的材料参数和光栅的闪耀角，可精确调控电磁波的特征吸收峰；通过调控超材料晶体结构的周期P，即光栅常数，可有效调控电磁波的吸收系数，可针对不同频段的电磁波的吸收调控，无需重新设计超材料晶体结构。 | ||
| 搜索关键词： | 调控 电磁波 吸收 材料 晶体结构 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
1.一种可调控电磁波吸收的超材料晶体结构的制备方法，其特征在于，包括如下步骤：/n1)提供一闪耀光栅衬底，且所述闪耀光栅衬底表面形成有周期排布的锯齿状阵列结构，其中，单一所述锯齿状阵列结构周期中包括具有第一倾角的第一槽面以及与所述第一槽面相连接的具有第二倾角的第二槽面；以及/n2)于所述闪耀光栅衬底上形成交替多层膜结构，所述交替多层膜结构包括若干个对应于单一所述锯齿状阵列结构周期的超材料结构单元，且所述超材料结构单元包括位于所述第一槽面上的第一等效介电常数单元和位于所述第二槽面上的第二等效介电常数单元；/n其中，所述第一等效介电常数单元的等效介电常数与所述第二等效介电常数单元的等效介电常数不同，使得所述第一等效介电常数单元与所述第二等效介电常数单元之间形成电磁波吸收界面，以形成可调控电磁波吸收的所述超材料晶体结构。/n
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