[发明专利]废气处理装置、真空镀膜系统以及废气处理装置的操作方法在审
| 申请号： | 201810644930.9 | 申请日： | 2018-06-21 |
| 公开（公告）号： | CN110624356A | 公开（公告）日： | 2019-12-31 |
| 发明（设计）人： | 宁吉;张新云;管长乐;南建辉 | 申请（专利权）人： | 东泰高科装备科技有限公司 |
| 主分类号： | B01D53/00 | 分类号： | B01D53/00;C23C14/24;B01D5/00 |
| 代理公司： | 11240 北京康信知识产权代理有限责任公司 | 代理人： | 韩建伟;谢湘宁 |
| 地址： | 102200 北京市昌平*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种废气处理装置、真空镀膜系统以及废气处理装置的操作方法，其中，废气处理装置用于去除并回收废气中的砷，包括冷凝部和刮料部，冷凝部具有冷凝腔和与冷凝腔连通的进气口、排气口和排料口，冷凝部用于对由进气口通入冷凝腔内的废气进行降温，以使废气中处于气态的砷受冷凝结在冷凝腔的内壁面上形成固态砷，刮料部可转动地设置在冷凝腔内，且刮料部的部分表面与冷凝腔的内壁面抵接，刮料部转动而将固态砷刮落，被刮落的固态砷在刮料部转动推动作用下连续地向排料口处运动。本发明解决了现有技术中的废气处理装置在去除并回收废气中的砷时，经济成本过高的问题。 | ||
| 搜索关键词： | 冷凝腔 刮料部 废气处理装置 废气 冷凝部 进气口 排料口 刮落 去除 转动 真空镀膜系统 经济成本 回收 可转动 内壁面 排气口 抵接 内壁 连通 凝结 | ||
【主权项】：
1.一种废气处理装置，用于去除并回收废气中的砷，其特征在于，包括：/n冷凝部(10)，所述冷凝部(10)具有冷凝腔(11)和与所述冷凝腔(11)连通的进气口(12)、排气口(13)和排料口(14)，所述冷凝部(10)用于对由所述进气口(12)通入所述冷凝腔(11)内的所述废气进行降温，以使所述废气中处于气态的砷受冷凝结在所述冷凝腔(11)的内壁面上形成固态砷；/n刮料部(20)，所述刮料部(20)可转动地设置在所述冷凝腔(11)内，且所述刮料部(20)的部分表面与所述冷凝腔(11)的内壁面抵接，所述刮料部(20)转动而将所述固态砷刮落，被刮落的所述固态砷在所述刮料部(20)转动推动作用下连续地向所述排料口(14)处运动。/n
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