[发明专利]一种正性光刻胶清洗组合物及其制备方法在审
| 申请号： | 201810642886.8 | 申请日： | 2018-06-21 |
| 公开（公告）号： | CN108828910A | 公开（公告）日： | 2018-11-16 |
| 发明（设计）人： | 卢燕燕;张丽燕 | 申请（专利权）人： | 深圳达诚清洗剂有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/42 | 分类号： | G03F7/42 |
| 代理公司： | 广州市一新专利商标事务所有限公司 44220 | 代理人： | 赵志远 |
| 地址： | 518100 广东省深圳*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种正性光刻胶清洗组合物及其制备方法，该组合物由以下重量百分比的组分组成：酰胺类40％～50％，醇醚类30％～50％，有机胺1％～10％，添加剂1％～10％，抑制剂0.3％～1％，其中，所述添加剂包括1，3‑二甲基‑2‑咪唑啉酮、有机醇中的至少一种。本发明的正性光刻胶清洗组合物的清洗力强，剥离效果好，无腐蚀，可提高被清洗基材的使用寿命，其制备工艺简单，制造成本低。 | ||
| 搜索关键词： | 清洗组合物 正性光刻胶 制备 添加剂 重量百分比 剥离效果 使用寿命 制备工艺 制造成本 咪唑啉酮 醇醚类 二甲基 清洗力 无腐蚀 抑制剂 有机胺 有机醇 酰胺类 基材 清洗 | ||
【主权项】：
1.一种正性光刻胶清洗组合物，其特征在于，该组合物由以下重量百分比的组分组成：![]()
其中，所述添加剂包括1，3‑二甲基‑2‑咪唑啉酮和有机醇中的至少一种。
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