[发明专利]一种气体检测装置及方法

摘要

本发明提供了提供一种能够实时在线追踪监测高真空、高温高压条件下的表面反应，并进行定性定量精确化测量的原位红外反应池‑质谱仪联用的气体检测装置及方法，通过六通真空腔将原位反应池与质谱仪有机地联系起来，通过在线切换气体流路，保证反应系统的高压与高真空条件，在不影响表面反应正常进行的情况下，可实现质谱仪单用、原位反应池单用、原位反应池‑质谱仪联用功能，可实现气体产物高真空下的定性定量检测，同时实时在线精确测得反应物、中间产物及终产物的变化历程，实现反应定性定量分析，有效提高对表面反应机理的精确描述。

主权项

1.一种气体检测装置，其特征在于，包括实现气路连通的六通真空腔、质谱仪、在线原位反应池、对所述六通真空腔预抽真空的前驱泵以及用于存储标准气体的气室；所述六通真空腔，由三个中部交汇连通的真空管构成；所述质谱仪由分子泵、毛线管进样系统和四级杆构成；所述分子泵、毛线管进样系统、原位反应池、气室分别与所述六通真空腔的腔口对应连通，其余两个腔口封闭，所述四级杆设在其中的一个腔口上，对反应气体以及生成气体的成分进行定性定量检测；所述分子泵，对所述六通真空腔二次抽真空至预设高压；所述毛线管进样系统，控制待检测气体的进入；所述原位反应池，安装在红外光谱仪上，通过管路与腔口连通，在线实时检测反应物成分、中间产物及最终产物成分；所述毛线管进样系统、原位反应池、气室以及分子泵分别与腔口连通的气路上，分别设有用于控制气路通断的阀门。