[发明专利]红外焦平面探测器像元失效检测方法有效
| 申请号： | 201810620059.9 | 申请日： | 2018-06-15 |
| 公开（公告）号： | CN109084903B | 公开（公告）日： | 2020-06-26 |
| 发明（设计）人： | 肖钰;范博文 | 申请（专利权）人： | 中国电子科技集团公司第十一研究所 |
| 主分类号： | G01J5/10 | 分类号： | G01J5/10 |
| 代理公司： | 工业和信息化部电子专利中心 11010 | 代理人： | 于金平 |
| 地址： | 100015*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种红外焦平面探测器像元失效检测方法，所述检测方法包括：将待测红外焦平面探测器倒置在测试杜瓦中，使所述待测红外焦平面探测器的芯片与测试杜瓦的冷头相对。根据本发明提出的检测方法，能够在红外焦平面探测器各个工艺步骤对红外焦平面探测器进行像元失效分析。 | ||
| 搜索关键词： | 红外 平面 探测器 失效 检测 方法 | ||
【主权项】：
1.一种红外焦平面探测器像元失效检测方法，其特征在于，将待测红外焦平面探测器倒置在测试杜瓦中，使所述待测红外焦平面探测器的芯片与测试杜瓦的冷头相对。
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