[发明专利]一种利用低频交变磁场超精密磁力研磨装置及方法

摘要

一种利用低频交变磁场超精密磁力研磨装置及方法，装置包括机架、X轴进给装置、Y轴进给装置、Z轴进给夹具台架、交变磁场抛光装置，X轴进给装置安装在机架平台上，Y轴进给装置横向设置在X轴进给装置上，交变磁场抛光装置安装在Y轴进给装置上，交变磁场抛光装置包括电机、铁芯、线圈、主轴、研磨液托盘、开槽磁极，主轴设置在铁芯的内部，线圈缠绕在铁芯外部，电机与主轴传动连接，开槽磁极安装在主轴的上端，研磨液托盘安装在开槽磁极的上端。本发明引入低频交变磁场(1Hz‑7Hz)，促使研磨工具在低频交变磁力作用下产生周期性的上下波动。促进磨料充分进入到被加工表面，阻止磁性粒子簇与工件接触后产生的变形，保证研磨工具的稳定性。

主权项

1.一种利用低频交变磁场超精密磁力研磨装置，其特征在于，包括机架、X轴进给装置、Y轴进给装置、Z轴进给夹具台架、交变磁场抛光装置，所述X轴进给装置安装在机架平台上，Y轴进给装置横向设置在X轴进给装置上，交变磁场抛光装置安装在Y轴进给装置上，所述Z轴进给夹具台架包括纵向设置的导轨、在导柱上上下滑动的夹具滑台，所述夹具滑台置于交变磁场抛光装置的上方；所述交变磁场抛光装置包括电机、线圈筒、线圈、主轴、研磨液托盘、开槽磁极，所述主轴设置在线圈筒的内部，所述线圈缠绕在线圈筒外部，所述电机与主轴传动连接，所述开槽磁极安装在主轴的上端，所述研磨液托盘安装在开槽磁极的上端。