[发明专利]一种显微共振激光诱导击穿光谱检测方法及系统

摘要

本发明公开一种显微共振激光诱导击穿光谱检测方法及系统，包括：发射激光束；将激光束分束得到第一激光束和第二激光束；接收第一激光束并将其射入聚焦镜；将能量调节后的第一束激光束聚焦并射入样品，使其作用于样品产生处于等离子体激发阈值附近的低密度蒸汽；接收第二激光束并调节其能量；控制第二激光束的传输光程，使其与第一激光束到达样品表面的时间产生纳秒量级的延时；接收第二激光束聚焦后射入样品，当激光束的波长与待分析元素谱线能级匹配时，共振激发；采集待分析元素共振激发后对应的特征谱线，以检测样品中待分析元素的含量。本发明对一束激光分束，并引入光束延时使两光束延时可调，将显微聚焦与共振激发技术有机结合。

主权项

1.一种显微共振激光诱导击穿光谱检测方法，其特征在于，包括：发射波长可调谐的激光束；将所述激光束分成两束，得到第一激光束和第二激光束；接收第一激光束并调节其能量在第一范围，第一激光束能量的第一范围根据样品激发特性确定，以能够激发样品产生处于等离子体激发阈值附近的低密度蒸汽为准；将能量调节后的第一束激光束聚焦并射入样品，使其作用于样品产生处于等离子体激发阈值附近的低密度蒸汽，所述第一激光束聚焦后的焦点位于样品表面的下方；接收第二激光束并调节其能量在第二范围，第二激光束能量的第二范围以可以对样品共振激发的前提下对样品损伤达到最小为准；控制能量调节后的第二激光束的传输光程，使其与第一激光束到达样品表面的时间产生纳秒量级的延时；接收传输光程调节后的第二激光束，并对其聚焦后射入样品，当激光束的波长调谐至与样品中待分析元素谱线能级相匹配时，可对待分析元素进行共振激发；采集待分析元素共振激发后形成的等离子体对应的特征谱线，以检测样品中待分析元素的含量。