[发明专利]多晶硅全熔铸锭用坩埚及其制备方法和应用有效
| 申请号： | 201810601798.3 | 申请日： | 2018-06-12 |
| 公开（公告）号： | CN108560048B | 公开（公告）日： | 2020-10-27 |
| 发明（设计）人： | 唐珊珊;杨涛;王振刚;王振防;王佳 | 申请（专利权）人： | 山东大海新能源发展有限公司 |
| 主分类号： | C30B28/06 | 分类号： | C30B28/06;C30B29/06;C03C17/22 |
| 代理公司： | 济南千慧专利事务所(普通合伙企业) 37232 | 代理人： | 王宽 |
| 地址： | 257300 山东省东营市*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 本申请公开了一种多晶硅全熔铸锭用坩埚及其制备方法和应用，属于光伏技术领域。该多晶硅全熔铸锭用坩埚的制备方法，包括下述步骤：1)将坩埚的内底部固定石英砂颗粒；2)将步骤1)制备的坩埚内底部喷涂第一脱膜层，坩埚内侧壁喷涂第二脱膜层；所述第一脱膜层的厚度大于第二脱膜层的厚度。第一脱膜剂和第二脱膜剂均包含氮化硅。本申请的方法制备的坩埚即可以防止多晶硅的氧化，又可以防止多晶硅锭的粘锅，坩埚底部的疏松粗糙表面提供了多种引晶方式，具有石英砂形核、缝隙形核和氮化硅形核，多种引晶并存缩短了多晶铸锭的周期，多晶铸锭的良率高。 | ||
| 搜索关键词： | 多晶 熔铸 坩埚 及其 制备 方法 应用 | ||
【主权项】：
1.一种多晶硅全熔铸锭用坩埚的制备方法，其特征在于，包括下述步骤：1)将坩埚的内底部固定石英砂颗粒；2)将步骤1)制备的坩埚内底部喷涂第一脱膜层，坩埚内侧壁喷涂第二脱膜层；所述第一脱膜层为疏松凹凸的表面。
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