[发明专利]蚀刻液组合物在审
| 申请号： | 201810600642.3 | 申请日： | 2018-06-12 |
| 公开（公告）号： | CN109112539A | 公开（公告）日： | 2019-01-01 |
| 发明（设计）人： | 刘仁浩;南基龙;鞠仁说;金宝衡;金相泰;朴英哲;林大成 | 申请（专利权）人： | 东友精细化工有限公司 |
| 主分类号： | C23F1/18 | 分类号： | C23F1/18;C23F1/26 |
| 代理公司： | 北京银龙知识产权代理有限公司 11243 | 代理人： | 钟晶;钟海胜 |
| 地址： | 韩国全*** | 国省代码： | 韩国;KR |
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| 摘要： | 本发明提供一种蚀刻液组合物，其特征在于，包含过硫酸盐、氟化合物、无机酸、环状胺化合物、有机酸、有机酸盐、氨基磺酸、甘氨酸和水，相对于蚀刻液组合物整体100重量％，上述氨基磺酸的含量为0.1～6重量％，上述甘氨酸的含量为0.1～5重量％。本发明的蚀刻液组合物存在如下优点：与现有的蚀刻液相比，处理张数特性提高，能够将所期望的铜膜的蚀刻形状维持更长的工序时间。 | ||
| 搜索关键词： | 蚀刻液组合物 氨基磺酸 甘氨酸 环状胺化合物 蚀刻 氟化合物 过硫酸盐 形状维持 有机酸盐 蚀刻液 无机酸 有机酸 铜膜 张数 期望 | ||
【主权项】：
1.一种蚀刻液组合物，其包含过硫酸盐、氟化合物、无机酸、环状胺化合物、有机酸、有机酸盐、氨基磺酸、甘氨酸和水，相对于蚀刻液组合物整体100重量％，所述氨基磺酸的含量为0.1～6重量％，所述甘氨酸的含量为0.1～5重量％。
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