[发明专利]上电极系统、等离子体腔室及等离子体产生方法在审
| 申请号： | 201810581337.4 | 申请日： | 2018-06-07 |
| 公开（公告）号： | CN110536533A | 公开（公告）日： | 2019-12-03 |
| 发明（设计）人： | 刘春明 | 申请（专利权）人： | 北京北方华创微电子装备有限公司 |
| 主分类号： | H05H1/46 | 分类号： | H05H1/46 |
| 代理公司： | 11218 北京思创毕升专利事务所 | 代理人： | 孙向民;廉莉莉<国际申请>=<国际公布> |
| 地址： | 100176 北京市大*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种上电极系统、等离子体腔室及等离子体产生方法。该上电极系统包括射频电源、线圈、连接在射频电源和线圈之间的匹配器，还包括在线圈和地之间并联设置的开关组件和分压电容。本发明通过开关组件切换的方式实现匹配网络的切换，结合对等离子体的起辉状态判断和对区配体的匹配状态监测，无需人工干预即可解决起辉异常问题，并且不增加起辉步骤，减小了对工艺结果的影响。 | ||
| 搜索关键词： | 起辉 电极系统 射频电源 等离子体 等离子体产生 等离子体腔室 开关组件切换 并联设置 分压电容 工艺结果 开关组件 匹配网络 匹配状态 人工干预 异常问题 状态判断 匹配器 减小 配体 监测 | ||
【主权项】：
1.一种上电极系统，包括射频电源、线圈、连接在所述射频电源和所述线圈之间的匹配器，其特征在于，还包括：在所述线圈和地之间并联设置的开关组件和分压电容。/n
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