[发明专利]管道吹扫装置及工艺气体输送清洁系统在审

专利信息
申请号: 201810574914.7 申请日: 2018-06-06
公开(公告)号: CN108405501A 公开(公告)日: 2018-08-17
发明(设计)人: 邝亮亮 申请(专利权)人: 上海正帆科技股份有限公司;江苏正帆半导体设备有限公司
主分类号: B08B9/032 分类号: B08B9/032
代理公司: 北京品源专利代理有限公司 11332 代理人: 胡彬
地址: 201108 上海市*** 国省代码: 上海;31
权利要求书: 查看更多 说明书: 查看更多
摘要: 发明公开了一种管道吹扫装置及工艺气体输送清洁系统,属于管道清洁系统技术领域。管道吹扫装置包括负压真空模组,该模组包括依次连接的第一逆止阀、第一压力表和第一隔膜阀,还包括连接在第一压力表与第一隔膜阀之间的分支管路,分支管路上设置有第二隔膜阀,分支管路的自由端连接真空泵。负压真空模组用于对设备的抽真空操作,可以将设备中的气体全部排出。该装置还包括正压吹扫模组,该模组包括依次连接的第三隔膜阀、第二压力表、缓冲罐、第四隔膜阀和第二逆止阀,缓冲罐能够存储氮气,当氮气具有足够大的冲击力时,可以很容易地将残余杂质清扫出去。本发明结构简单,清扫时间短,效果好,氮气消耗量少,生产成本低。
搜索关键词: 隔膜阀 压力表 吹扫装置 模组 氮气 分支管路 工艺气体 清洁系统 依次连接 真空模组 缓冲罐 逆止阀 负压 清扫 管道清洁系统 氮气消耗量 生产成本低 残余杂质 抽真空 对设备 分支管 真空泵 自由端 吹扫 排出 正压 冲击力 存储
【主权项】:
1.一种管道吹扫装置,其特征在于,包括负压真空模组和正压吹扫模组,所述负压真空模组包括依次通过第一管路(1)首尾连接的第一逆止阀(3)、第一压力表(4)和第一隔膜阀(5),还包括连接在所述第一压力表(4)与所述第一隔膜阀(5)之间的分支管路(2),所述分支管路(2)上设置有第二隔膜阀(6),所述分支管路(2)的自由端连接真空泵(7);所述正压吹扫模组包括依次通过第二管路(8)首尾连接的第三隔膜阀(9)、第二压力表(10)、缓冲罐(11)、第四隔膜阀(12)和第二逆止阀(13)。
下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。

该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于上海正帆科技股份有限公司;江苏正帆半导体设备有限公司,未经上海正帆科技股份有限公司;江苏正帆半导体设备有限公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服

本文链接:http://www.vipzhuanli.com/patent/201810574914.7/,转载请声明来源钻瓜专利网。

×

专利文献下载

说明:

1、专利原文基于中国国家知识产权局专利说明书;

2、支持发明专利 、实用新型专利、外观设计专利(升级中);

3、专利数据每周两次同步更新,支持Adobe PDF格式;

4、内容包括专利技术的结构示意图流程工艺图技术构造图

5、已全新升级为极速版,下载速度显著提升!欢迎使用!

请您登陆后,进行下载,点击【登陆】 【注册】

关于我们 寻求报道 投稿须知 广告合作 版权声明 网站地图 友情链接 企业标识 联系我们

钻瓜专利网在线咨询

周一至周五 9:00-18:00

咨询在线客服咨询在线客服
tel code back_top