[发明专利]管道吹扫装置及工艺气体输送清洁系统在审
申请号: | 201810574914.7 | 申请日: | 2018-06-06 |
公开(公告)号: | CN108405501A | 公开(公告)日: | 2018-08-17 |
发明(设计)人: | 邝亮亮 | 申请(专利权)人: | 上海正帆科技股份有限公司;江苏正帆半导体设备有限公司 |
主分类号: | B08B9/032 | 分类号: | B08B9/032 |
代理公司: | 北京品源专利代理有限公司 11332 | 代理人: | 胡彬 |
地址: | 201108 上海市*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | 本发明公开了一种管道吹扫装置及工艺气体输送清洁系统,属于管道清洁系统技术领域。管道吹扫装置包括负压真空模组,该模组包括依次连接的第一逆止阀、第一压力表和第一隔膜阀,还包括连接在第一压力表与第一隔膜阀之间的分支管路,分支管路上设置有第二隔膜阀,分支管路的自由端连接真空泵。负压真空模组用于对设备的抽真空操作,可以将设备中的气体全部排出。该装置还包括正压吹扫模组,该模组包括依次连接的第三隔膜阀、第二压力表、缓冲罐、第四隔膜阀和第二逆止阀,缓冲罐能够存储氮气,当氮气具有足够大的冲击力时,可以很容易地将残余杂质清扫出去。本发明结构简单,清扫时间短,效果好,氮气消耗量少,生产成本低。 | ||
搜索关键词: | 隔膜阀 压力表 吹扫装置 模组 氮气 分支管路 工艺气体 清洁系统 依次连接 真空模组 缓冲罐 逆止阀 负压 清扫 管道清洁系统 氮气消耗量 生产成本低 残余杂质 抽真空 对设备 分支管 真空泵 自由端 吹扫 排出 正压 冲击力 存储 | ||
【主权项】:
1.一种管道吹扫装置,其特征在于,包括负压真空模组和正压吹扫模组,所述负压真空模组包括依次通过第一管路(1)首尾连接的第一逆止阀(3)、第一压力表(4)和第一隔膜阀(5),还包括连接在所述第一压力表(4)与所述第一隔膜阀(5)之间的分支管路(2),所述分支管路(2)上设置有第二隔膜阀(6),所述分支管路(2)的自由端连接真空泵(7);所述正压吹扫模组包括依次通过第二管路(8)首尾连接的第三隔膜阀(9)、第二压力表(10)、缓冲罐(11)、第四隔膜阀(12)和第二逆止阀(13)。
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