[发明专利]一种洁净室的洁净度控制系统在审
| 申请号： | 201810558431.8 | 申请日： | 2018-06-01 |
| 公开（公告）号： | CN109059099A | 公开（公告）日： | 2018-12-21 |
| 发明（设计）人： | 秦学礼;李先庭;肖红梅;张群;阎冬;王江标 | 申请（专利权）人： | 世源科技工程有限公司 |
| 主分类号： | F24F1/00 | 分类号： | F24F1/00;F24F3/16;F24F11/54;F24F11/64;F24F11/77;F24F11/89;F24F110/64 |
| 代理公司： | 北京同达信恒知识产权代理有限公司 11291 | 代理人： | 黄志华 |
| 地址： | 100142 北京市海淀*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明实施例公开了一种洁净室的洁净度控制系统，以自动控制风机过滤器机组的风机的转速，节约能源，提高洁净室的洁净度稳定性。该洁净室的洁净度控制系统包括风机过滤器机组、尘埃粒子浓度测试仪和控制系统，其中，风机过滤器机组设置于洁净室上方的上技术夹层内；尘埃粒子浓度测试仪设置于洁净室，用于测试洁净室工作区的尘埃粒子浓度；控制系统与风机过滤器机组和尘埃粒子浓度测试仪连接，当洁净室的尘埃粒子浓度大于设定值时，控制风机过滤器机组的风机提高转速；当洁净室的尘埃粒子浓度小于设定值时，控制风机过滤器机组的风机降低转速。 | ||
| 搜索关键词： | 洁净室 尘埃粒子 风机过滤器机组 控制系统 洁净度 浓度测试仪 风机 自动控制风机 过滤器机组 技术夹层 降低转速 测试 节约 能源 | ||
【主权项】：
1.一种洁净室的洁净度控制系统，其特征在于，包括：风机过滤器机组，设置于洁净室上方的上技术夹层内；尘埃粒子浓度测试仪，设置于洁净室，用于测试洁净室的尘埃粒子浓度；控制系统，与风机过滤器机组和尘埃粒子浓度测试仪连接，当所述洁净室的尘埃粒子浓度大于设定值时，控制所述风机过滤器机组的风机提高转速；当所述洁净室的尘埃粒子浓度小于设定值时，控制所述风机过滤器机组的风机降低转速。
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