[发明专利]石墨烯加工装置在审
| 申请号： | 201810553986.3 | 申请日： | 2018-06-01 |
| 公开（公告）号： | CN108423660A | 公开（公告）日： | 2018-08-21 |
| 发明（设计）人： | 郑洋 | 申请（专利权）人： | 常州华凯石墨烯应用科技有限公司 |
| 主分类号： | C01B32/186 | 分类号： | C01B32/186 |
| 代理公司： | 常州市夏成专利事务所(普通合伙) 32233 | 代理人： | 姜佩娟 |
| 地址： | 213000 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明涉及石墨烯的技术领域，尤其涉及一种石墨烯加工装置。这种石墨烯加工装置包括真空管式电炉、真空计、机械泵和气体输送管道，真空管式电炉上设有控制温度的温度控制仪和用于石墨烯制备的真空腔，真空腔内设有石英管，在石英管内设有衬底，在石英管的上下端设有加热单元，石英管的前端分别连接氢气管路、氩气管路和甲烷管路，石英管的末端连接输出管路，输出管路上设有真空计、液氮冷阱以及机械泵。通过有效控制制备腔室的生长温度，保证腔室内的真空度和气压，整个装置通过真空计实时采集的实际气压来形成反馈，与设定值进行比较，然后主要通过抽速恒定的机械泵以及流量计的流量来达到气压的设定值，从而构成一个稳定的压力控制系统。 | ||
| 搜索关键词： | 石墨烯 石英管 加工装置 机械泵 真空计 气压 真空管式电炉 真空腔 制备 流量计 气体输送管道 压力控制系统 温度控制仪 加热单元 末端连接 氢气管路 实时采集 输出管路 液氮冷阱 有效控制 氩气管路 恒定的 输出管 甲烷 衬底 抽速 腔室 室内 反馈 生长 保证 | ||
【主权项】：
1.一种石墨烯加工装置，包括真空管式电炉、真空计、机械泵和气体输送管道，其特征在于，所述真空管式电炉上设有控制温度的温度控制仪和用于石墨烯制备的真空腔，真空腔内设有石英管，在石英管内设有衬底，在石英管的上下端设有加热单元，石英管的前端分别连接氢气管路、氩气管路和甲烷管路，石英管的末端连接输出管路，输出管路上设有真空计、液氮冷阱以及机械泵。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于常州华凯石墨烯应用科技有限公司，未经常州华凯石墨烯应用科技有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201810553986.3/，转载请声明来源钻瓜专利网。
