[发明专利]石墨烯加工装置在审
| 申请号： | 201810553986.3 | 申请日： | 2018-06-01 |
| 公开（公告）号： | CN108423660A | 公开（公告）日： | 2018-08-21 |
| 发明（设计）人： | 郑洋 | 申请（专利权）人： | 常州华凯石墨烯应用科技有限公司 |
| 主分类号： | C01B32/186 | 分类号： | C01B32/186 |
| 代理公司： | 常州市夏成专利事务所(普通合伙) 32233 | 代理人： | 姜佩娟 |
| 地址： | 213000 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 石墨烯 石英管 加工装置 机械泵 真空计 气压 真空管式电炉 真空腔 制备 流量计 气体输送管道 压力控制系统 温度控制仪 加热单元 末端连接 氢气管路 实时采集 输出管路 液氮冷阱 有效控制 氩气管路 恒定的 输出管 甲烷 衬底 抽速 腔室 室内 反馈 生长 保证 | ||
【权利要求书】：
1.一种石墨烯加工装置，包括真空管式电炉、真空计、机械泵和气体输送管道，其特征在于，所述真空管式电炉上设有控制温度的温度控制仪和用于石墨烯制备的真空腔，真空腔内设有石英管，在石英管内设有衬底，在石英管的上下端设有加热单元，石英管的前端分别连接氢气管路、氩气管路和甲烷管路，石英管的末端连接输出管路，输出管路上设有真空计、液氮冷阱以及机械泵。
2.如权利要求1所述的石墨烯加工装置，其特征在于：所述衬底为铜箔。
3.如权利要求1所述的石墨烯加工装置，其特征在于：所述氢气管路上设有流量计二，流量计二的气体流量范围为0~100sccm。
4.如权利要求1所述的石墨烯加工装置，其特征在于：所述氩气管路上设有流量计一，流量计一的气体流量范围为0-1000sccm。
5.如权利要求1所述的石墨烯加工装置，其特征在于，所述甲烷管路上设有流量计三，流量计三的气体流量范围为0~100sccm。
6.如权利要求1所述的石墨烯加工装置，其特征在于，所述石英管将真空管式炉分为上炉体和下炉体。
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