[发明专利]一种透明硬脆材料的切割裂片方法

摘要

本发明涉及激光加工领域，特别涉及一种透明硬脆材料的切割裂片方法。该方法可以减少激光切割裂片过程中容易出现的缺陷和残留问题，大大提高了透明硬脆材料激光加工的良率。该方法的具体步骤是：【S1】将待加工件进行固定；【S2】对待加工件进行第一次切割；【S3】对待加工件进行第二次切割；【S4】对待加工件进行裂片处理。

主权项

1.一种透明硬脆材料的切割裂片方法，其特征在于，其具体步骤是：/n【S1】将待加工件进行固定；/n【S2】对待加工件进行第一次切割；/n【S2.1】设定激光束的运动轨迹和偏振方向，保证激光束的偏振方向始终沿运动轨迹的切线方向；所述偏振方向是激光束的线偏振方向；/n【S2.2】启动第一次切割工艺，激光束沿步骤【S2.1】设定好的运动轨迹切割玻璃；/n【S3】对待加工件进行第二次切割；/n【S3.1】修改激光束的运动轨迹和偏振方向，保证激光束的偏振方向始终沿运动轨迹的法线方向；/n【S3.2】启动第二次切割工艺，激光束沿步骤【S3.1】设定好的运动轨迹切割玻璃，释放一次切割后的残余应力，所述残余应力为进行完步骤【S2.1】后残留在玻璃切割道内的应力；/n【S4】对待加工件进行裂片处理；/n设定裂片参数，启动裂片工艺，采用弹性裂片部与待加工件接触、挤压，从而实现裂片，消除裂片残留；所述裂片残留为切割道的两端端部没有被裂开的残留玻璃；/n所述裂片工艺包括三次或以上次数的裂片；当待加工件的切割道为R角时，具体裂片步骤是：/n【S4.1】建立坐标系XYZ，其中X轴和Y轴构成的平面与待加工件平行，Z轴分别垂直于X轴和Y轴；/n【S4.2】第一次裂片；/n沿Z轴方向竖直向上，使待加工件的R角部分完全抵接弹性裂片部，进行第一次裂片；/n【S4.3】第二次裂片；/n使得待加工件的R角部分沿顺时针方向绕旋转轴线旋转5-10°，进行第二次裂片；所述旋转轴线为R角顶点与R角圆心的连线；/n【S4.4】第三次裂片；/n使弹性裂片部和待加工件的R角部分完全接触，使待加工件的R角部分沿旋转轴线逆时针旋转5-10°，进行第三次裂片，从而裂片完成。/n