[发明专利]一种全息光栅光刻系统中干涉光路自准直的调节方法

摘要

本发明属于信息光学领域，涉及一种全息光栅光刻系统中干涉光路自准直的调节方法，为解决制作平行等间距条纹全息光栅时曝光光束平行度差的技术问题，在准直透镜的后方放置体布拉格光栅，曝光光束入射至体布拉格光栅的入射角等于所述体布拉格光栅的布拉格角，在曝光光束入射至体布拉格光栅后的‑1级透射衍射光路上放置光电探测器；沿着光轴前后移动针孔滤波器，实时观察光电探测器的读数，当光电探测器的读数最大时，固定针孔滤波器并且保持第一针孔滤波器与第一准直透镜间距恒定；本发明提出了一种自准直光路的调节方法，用体布拉格光栅来检测自准直光的平行度，代替传统的莫尔条纹调节方法，操作简单，具有很强的实用价值。

主权项

1.一种全息光栅光刻系统中干涉光路自准直的调节方法，所述的全息光栅光刻系统用于制作平行等间距条纹的全息光栅；该全息光栅光刻系统包括相干光源、分束器、第一反射镜，第二反射镜，第一针孔滤波器，第二针孔滤波器，第一准直透镜，第二准直透镜；相干光源发出的光经过分束器后被分成透射光路和反射光路；沿着光传播方向反射光路上依次放置第一反射镜、第一针孔滤波器、第一准直透镜；透射光路上依次放置第二反射镜、第二针孔滤波器、第二准直透镜；反射光路经过第一准直透镜后的光作为第一曝光光束，透射光路经过第二准直透镜后的光作为第二曝光光束；其特征在于：以靠近相干光源端为前方，光传播方向为后方；在第一准直透镜的后方放置体布拉格光栅，且第一曝光光束入射至体布拉格光栅的入射角等于所述体布拉格光栅的布拉格角；在第一曝光光束入射至体布拉格光栅后的‑1级透射衍射光路上放置光电探测器；将第一针孔滤波器沿着光轴前后移动，实时观察光电探测器的读数；当光电探测器的读数最大时，固定第一针孔滤波器并且保持第一针孔滤波器与第一准直透镜间距恒定；再将所述的体布拉格光栅放置在第二准直透镜的后方，且第二曝光光束入射至体布拉格光栅的入射角等于所述体布拉格光栅的布拉格角；将所述的光电探测器放置在第二曝光光束入射至体布拉格光栅后的‑1级透射衍射光路上；将第二针孔滤波器沿着光轴前后移动，实时观察所述光电探测器的读数；当光电探测器的读数最大时，固定第二针孔滤波器并且保持第二针孔滤波器与第二准直透镜间距恒定。