[发明专利]一种从光纤预制棒烧结炉排放废气里回收提纯氦气的方法和系统

摘要

本发明公开了一种从光纤预制棒烧结炉排放废气里回收提纯氦气的方法，包括的步骤依次为：导入、碱洗和水洗、干燥和除氯、加压除氯、加热、催化、吸干和除碳、深冷提纯、低温净化；本发明还公开了一种从光纤预制棒烧结炉排放废气里回收提纯氦气的系统，该系统包括，真空泵、碱洗装置、水洗装置、干燥器和除氯器、压缩装置、加压除氯器、换热器、催化器、吸附筒、深冷提纯装置、低温净化装置、产品储罐。本发明由于采用以上多级除氯步骤，将废气中氯气含量脱除到1PPm以下，同时设置回流泵使全部废气都能够参与提纯过程，避免含氦废气放空，具有结构简单合理、环保节能的优势。

主权项

1.一种从光纤预制棒烧结炉排放废气里回收提纯氦气的方法，其特征在于包含以下步骤：a)通过集气装置连接光纤预制棒烧结炉排气口和氦气专用真空泵，负压收集光纤预制棒烧结炉排出的废气；b)收集到的废气先后经过碱洗和水洗装置，进行碱洗和水洗除氯处理，脱除废气中的氯气和卤化物；C)碱洗和水洗后的废气经过吸干除氯装置，脱除b步骤中带进的水份并在碱金属的作用下进行低压除氯处理，脱除残余氯气和卤化物；d)对除湿除氯完成后的废气进行加压，加压到规定压力后的废气进入加压除氯器，在碱金属作用下进行加压除氯处理，脱除残余气和卤化物；e)除氯后的废气进行加热，加热到规定温度后的废气进入催化器进行催化处理；f)经催化后的废气通过换热器进行冷却后，进入吸附筒脱除水份和二氧化碳；g)脱水除碳处理后的废气，进入深冷提纯装置通过液氮作为降温剂，在换热器组中进行深冷冷凝提纯，脱除含氦废气中含有的氧、氮、氩气体；h)脱除氧、氮、氩气体后的废气进入低温净化装置进行净化处理，最终获得高纯度的氦气。