[发明专利]一种解决氧化的防起层的热解氮化硼涂层热弯模具的制备方法有效

专利信息
申请号: 201810479625.9 申请日: 2018-05-18
公开(公告)号: CN108545914B 公开(公告)日: 2022-09-06
发明(设计)人: 刘汝强;王殿春;孙蕾;张佳伟;赵旭荣 申请(专利权)人: 山东国晶新材料有限公司
主分类号: C03B23/03 分类号: C03B23/03;C23C16/34;C23C16/02
代理公司: 济南金迪知识产权代理有限公司 37219 代理人: 张宏松
地址: 251200 山*** 国省代码: 山东;37
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摘要: 发明涉及一种防起层的热解氮化硼涂层热弯模具的制备方法,本发明的方法严格控制热弯模具基体表面粗糙度、特殊的放置方式、特定的升温温度、压力、特定的降温速速、倒角以及防起层槽,整体协同提高了涂层与基体的结合力,避免了产品起层而导致的产品报废问题,产品的良品率提升1‑2倍,产品的使用寿命提升2‑3倍,相应的成本降低50%以上。
搜索关键词: 一种 解决 氧化 防起层 氮化 涂层 模具 制备 方法
【主权项】:
1.一种解决氧化的防起层的热解氮化硼涂层热弯模具的制备方法,包括步骤:(1)石墨材质热弯模具基体粗糙处理,粗糙处理后热弯模具基体表面粗糙度为Ra:0.5~4.0微米;(2)粗糙处理后的热弯模具基体悬挂到反应炉内,关闭炉盖,升温抽真空,升温温度控制1700~1900℃,反应炉内压力控制在30‑300Pa;(3)以氮气作为载气,将NH3:BCl3按流量比为(3‑6):1的比例通入到反应炉内,使热弯模具基体表面上以10‑100微米/小时的沉积速度沉积上一层热解氮化硼涂层;(4)当热弯模具基体表面上热解氮化硼涂层的厚度达到100‑300微米时,停止通入气体,反应炉自然降温24‑48小时;(5)自然降温至室温后,模具经过处理,得到防起层的热解氮化硼涂层热弯模具。
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