[发明专利]一种电沉积装置

摘要

本发明专利公开了一种电沉积装置，属于电沉积领域。该装置包括电解液循环过滤单元、电解液槽、电沉积电源、阴极基底、电解液，它还包括横截面为长方形的直线状阳极和搅拌桨；所述的直线状阳极安设于搅拌桨的底部且直线状阳极的表面与搅拌桨的底面平齐；所述的搅拌桨的底面与阴极基底的表面平行且间距可调；所述的搅拌桨可作往复直线运动；所述的电解液的液面高于搅拌桨的底面1~2mm。本发明提高了沉积层厚度的均匀性和可控性，从而提高了产品质量。

主权项

1.一种电沉积装置，包括电解液循环过滤单元（1）、电解液槽（2）、电沉积电源（4）、阴极基底（5）、电解液（7），其特征是：它还包括横截面为长方形的直线状阳极（6）和搅拌桨（3）；所述的直线状阳极（6）安设于搅拌桨（3）的底部且直线状阳极（6）的表面与搅拌桨（3）的底面平齐；所述的搅拌桨（3）的底面与阴极基底（5）的表面平行且间距可调；所述的搅拌桨（3）可作往复直线运动；所述的电解液（7）的液面高于搅拌桨（3）的底面1~2mm。