[发明专利]用于真空紫外BRDF特性测量的系统在审
| 申请号： | 201810435109.6 | 申请日： | 2018-05-09 |
| 公开（公告）号： | CN110470636A | 公开（公告）日： | 2019-11-19 |
| 发明（设计）人： | 孙广尉;孙红胜;王加朋;张玉国;宋春晖;曹清政;何立平 | 申请（专利权）人： | 北京振兴计量测试研究所 |
| 主分类号： | G01N21/47 | 分类号： | G01N21/47 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 100074 北京市*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明涉及光学测试技术领域，公开了一种用于真空紫外BRDF特性测量的系统。该系统包括：真空紫外探测器、探测转臂、转臂旋转中心、探测转台、样品转台和样品平移台，其中，所述真空紫外探测器设置在所述探测转臂上，所述转臂旋转中心带动所述探测转臂进行绕水平轴的旋转运动，所述探测转台带动所述探测转臂进行绕垂直轴的旋转运动，所述样品转台带动待测样品进行绕垂直轴的旋转运动，所述样品平移台带动所述待测样品进行沿水平方向的平移运动，以对所述待测样品进行多角度漫反射信号探测，得到所述待测样品的BRDF值。由此，可以实现对待测样品的双向反射分布函数进行精确测量。 | ||
| 搜索关键词： | 转臂 探测 待测样品 真空紫外探测器 旋转中心 样品转台 垂直轴 平移台 转台 双向反射分布函数 光学测试技术 漫反射信号 平移运动 特性测量 测量 | ||
【主权项】：
1.一种用于真空紫外BRDF特性测量的系统，其特征在于，该系统包括：真空紫外探测器、探测转臂、转臂旋转中心、探测转台、样品转台和样品平移台，其中，所述真空紫外探测器设置在所述探测转臂上，所述转臂旋转中心带动所述探测转臂进行绕水平轴的旋转运动，所述探测转台带动所述探测转臂进行绕垂直轴的旋转运动，所述样品转台带动待测样品进行绕垂直轴的旋转运动，所述样品平移台带动所述待测样品进行沿水平方向的平移运动，以对所述待测样品进行多角度漫反射信号探测，得到所述待测样品的BRDF值。/n
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