[发明专利]一种霍尔元件及其制备方法在审
| 申请号： | 201810433937.6 | 申请日： | 2018-05-08 |
| 公开（公告）号： | CN108735892A | 公开（公告）日： | 2018-11-02 |
| 发明（设计）人： | 胡双元;朱忻 | 申请（专利权）人： | 苏州矩阵光电有限公司 |
| 主分类号： | H01L43/06 | 分类号： | H01L43/06;H01L43/10;H01L43/14 |
| 代理公司： | 北京三聚阳光知识产权代理有限公司 11250 | 代理人： | 马永芬 |
| 地址： | 215614 江苏省苏州市*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种霍尔元件及其制备方法，其中霍尔元件包括磁性基板，石墨烯功能层，电极和磁芯，其中：石墨烯功能层沉积在磁性基板的上方；电极设置在石墨烯功能层上方的电极区域；磁芯设置在石墨烯功能层上方的功能区域。将石墨烯材料直接制备在磁性基板上，使石墨烯霍尔元件的工艺简单化，性能和良率提升；石墨烯霍尔元件采用两层磁性材料进行聚磁，进一步提升灵敏度，而因为石墨烯材料本身厚度非常薄，而整个工艺过程中，只用到一层胶黏剂层，两层磁性材料的间距小，聚磁效果增加一倍以上。 | ||
| 搜索关键词： | 石墨烯 霍尔元件 磁性基板 功能层 石墨烯材料 磁性材料 磁芯 聚磁 两层 制备 功能层沉积 电极区域 电极设置 工艺过程 功能区域 胶黏剂层 直接制备 灵敏度 电极 良率 | ||
【主权项】：
1.一种霍尔元件，其特征在于，包括：磁性基板(1)；石墨烯功能层(2)，沉积在所述磁性基板(1)的上方；电极(3)，设置在所述石墨烯功能层(2)上方的电极区域；磁芯(4)，设置在所述石墨烯功能层(2)上方的功能区域。
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