[发明专利]用于固定AFM探针的检测装置、铜片及检测方法有效
| 申请号： | 201810433434.9 | 申请日： | 2018-05-08 |
| 公开（公告）号： | CN108717130B | 公开（公告）日： | 2020-09-25 |
| 发明（设计）人： | 李津津;高天阳;李鉴峰;雒建斌 | 申请（专利权）人： | 清华大学 |
| 主分类号： | G01Q60/38 | 分类号： | G01Q60/38;G01Q10/00 |
| 代理公司： | 北京清亦华知识产权代理事务所(普通合伙) 11201 | 代理人： | 黄德海 |
| 地址： | 10008*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种用于固定AFM探针的检测装置、铜片及检测方法，其中，检测装置包括：铜片的形状特征为预设厚度和预设直径的半圆薄片，且在半圆薄片的中轴线位置设有梯形开口，以生成向铜片内凹的斜面形开口；光学显微镜；控制器，用于在光学显微镜下通过没有针尖的悬臂梁将胶黏剂涂抹在铜片上的预设位置，并通过光学显微镜将待检测原子力显微镜AFM的探针接触铜片上胶黏剂所在位置，并逐渐加压直至待检测AFM的探针的悬臂梁被压断，且在硅基底和悬臂梁脱离后，抬起没有悬臂梁的硅基底，使得待检测AFM的探针的悬臂梁及针尖留在铜片上，以进行透射电镜检测。该检测装置结构简单，轻便易携，成本极低。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 固定 afm 探针 检测 装置 铜片 方法 | ||
【主权项】：
1.一种用于固定AFM探针的检测装置，其特征在于，包括：铜片，所述铜片的形状特征为预设厚度和预设直径的半圆薄片，且在所述半圆薄片的中轴线位置设有梯形开口，以生成向铜片内凹的斜面形开口；光学显微镜；以及控制器，用于在所述光学显微镜下通过没有针尖的悬臂梁将胶黏剂涂抹在所述铜片上的预设位置，并通过所述光学显微镜将待检测原子力显微镜AFM的探针接触所述铜片上胶黏剂所在位置，并逐渐加压直至所述待检测AFM的探针的悬臂梁被压断，且在硅基底和所述悬臂梁脱离后，抬起没有所述悬臂梁的硅基底，使得所述待检测AFM的探针的悬臂梁及针尖留在所述铜片上，以进行透射电镜检测。
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