[发明专利]一种低压电干扰的柔性热释电红外探测器敏感单元有效
| 申请号： | 201810432406.5 | 申请日： | 2018-05-08 |
| 公开（公告）号： | CN108645520B | 公开（公告）日： | 2020-08-21 |
| 发明（设计）人： | 黎威志;高若尧;张天;杜晓松;太惠玲;于贺 | 申请（专利权）人： | 电子科技大学 |
| 主分类号： | G01J5/02 | 分类号： | G01J5/02;G01J5/10;H01L37/02 |
| 代理公司： | 成都弘毅天承知识产权代理有限公司 51230 | 代理人： | 徐金琼 |
| 地址： | 611731 四川省成*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种低压电干扰的柔性热释电红外探测器敏感单元，涉及热释电传感器结构设计领域，包括位于上层的上层柔性热释电聚合物薄膜和位于下层的下层柔性热释电聚合物薄膜，所述上层柔性热释电聚合物薄膜上表面设置有第一电极层、下表面设置有第二电极层，所述下层柔性热释电聚合物薄膜上表面设置有第三电极层、下表面设置有第四电极层，所述第二电极层和第三电极层之间连接设置绝热隔离柱；本发明解决了现有的热释电红外探测器采用敏感元并排设置的结构使敏感元感受到的环境干扰有所差别，因此不能消除压电信号干扰，以及使有效敏感单元数量降低，导致探测器阵列的分辨率降低的问题。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 压电 干扰 柔性 热释电 红外探测器 敏感 单元 | ||
【主权项】：
1.一种低压电干扰的柔性热释电红外探测器敏感单元，其特征在于：包括位于上层的上层柔性热释电聚合物薄膜(2)和位于下层的下层柔性热释电聚合物薄膜(6)，所述上层柔性热释电聚合物薄膜(2)上表面设置有第一电极层(1)、下表面设置有第二电极层(3)，所述下层柔性热释电聚合物薄膜(6)上表面设置有第三电极层(5)、下表面设置有第四电极层(7)，所述第二电极层(3)和第三电极层(5)之间连接设置绝热隔离柱(4)。
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