[发明专利]一种低压电干扰的柔性热释电红外探测器敏感单元

权利要求书

1.一种低压电干扰的柔性热释电红外探测器敏感单元，其特征在于：包括位于上层的上层柔性热释电聚合物薄膜(2)和位于下层的下层柔性热释电聚合物薄膜(6)，所述上层柔性热释电聚合物薄膜(2)上表面设置有第一电极层(1)、下表面设置有第二电极层(3)，所述下层柔性热释电聚合物薄膜(6)上表面设置有第三电极层(5)、下表面设置有第四电极层(7)，所述第二电极层(3)和第三电极层(5)之间连接设置绝热隔离柱(4)，所述第四电极层(7)的下表面通过支撑柱(8)连接有支撑层(9)。

2.根据权利要求1所述的一种低压电干扰的柔性热释电红外探测器敏感单元，其特征在于：所述绝热隔离柱(4)的高度小于等于100μm，大于等于50μm。

3.根据权利要求1或2所述的一种低压电干扰的柔性热释电红外探测器敏感单元，其特征在于：所述绝热隔离柱(4)、支撑柱(8)和支撑层(9)均采用硅或二氧化硅。

4.根据权利要求1或2所述的一种低压电干扰的柔性热释电红外探测器敏感单元，其特征在于：所述绝热隔离柱(4)和支撑柱(8)的尺寸一致，数量相同，且陈列方式一致。

5.根据权利要求1所述的一种低压电干扰的柔性热释电红外探测器敏感单元，其特征在于：所述第二电极层(3)和第三电极层(5)接地，所述第一电极层(1)接入差分电路的正极、第四电极层(7)接入差分电路的负极。

6.根据权利要求1所述的一种低压电干扰的柔性热释电红外探测器敏感单元，其特征在于：所述柔性热释电聚合物薄膜的材料包括聚偏氟乙烯、聚偏氟乙烯－六氟丙烯、聚偏二氟乙烯－三氟乙烯、奇数尼龙、聚氯乙烯和聚丙烯。

7.根据权利要求6所述的一种低压电干扰的柔性热释电红外探测器敏感单元，其特征在于：所述柔性热释电聚合物薄膜的材料还包括无机压电陶瓷、无机压电晶体、金属氧化物、碳纳米管、石墨烯中的一种或多种。

8.根据权利要求6或7所述的一种低压电干扰的柔性热释电红外探测器敏感单元，其特征在于：所述柔性热释电聚合物薄膜的制备方法包括流延铸塑、热压、悬涂或静电喷涂方式。