[发明专利]测量装置

摘要

本发明涉及测量装置。一种在机床中使用的测量装置，即使要被加工的对象物是如模具那样的具有复杂的形状的物品也能够利用超声波照射准确地测定表面形状的结构。测量装置具备：超声波振子，其对被削件、即测量对象照射超声波；声透镜；光接收元件阵列、即声音接收元件部；A/D转换器阵列；与A/D转换器阵列连接的计算机；以及驱动机构，其使被削件能够相对于超声波振子相对地移动或倾斜。计算机以时间序列存储通过超声波的扫描照射并由声音接收元件阵列获得的信息，并且将以时间序列存储的信息转换为空间信息来获取声强度分布。

主权项

1.一种测量装置，以由机床进行加工的对象物作为测量对象来进行测量，所述测量装置具备：超声波振子，其向所述测量对象照射超声波；声透镜，其将从所述超声波振子照射并且被所述测量对象反射、衍射的超声波汇聚；声音接收元件部，其将由所述声透镜汇聚后的超声波转换为电信号；A/D转换部，其将来自所述声音接收元件部的模拟信号转换为数字信号；计算机，其与A/D转换部连接；以及驱动机构，其使所述测量对象能够相对于所述超声波振子相对地移动或倾斜，其中，所述计算机以时间序列存储通过超声波的扫描照射并由所述声音接收元件部获得的信息，并且将以时间序列存储的信息转换为空间信息来获取声强度分布。