[发明专利]靶材组件及加工方法有效
| 申请号： | 201810421900.1 | 申请日： | 2018-05-04 |
| 公开（公告）号： | CN108581169B | 公开（公告）日： | 2020-01-14 |
| 发明（设计）人： | 姚力军;潘杰;王学泽;张良进 | 申请（专利权）人： | 宁波江丰电子材料股份有限公司 |
| 主分类号： | B23K20/02 | 分类号： | B23K20/02;B23K20/26 |
| 代理公司： | 11371 北京超凡志成知识产权代理事务所(普通合伙) | 代理人： | 梁斌 |
| 地址： | 315000 浙江省宁波*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明涉及机械加工技术领域，提供一种靶材组件及加工方法。该靶材组件包括靶材以及用于承载靶材的背板。其中靶材的表面包括正面以及背面，靶材的正面为靶材的溅射面，靶材的背面与靶材的正面位置相对，靶材的背面凸出设置有的第一台阶，第一台阶的侧面为斜面。背板的正面设置有与第一台阶相匹配的第一凹槽，靶材的背面与背板的正面通过扩散焊接连接且第一台阶嵌入在第一凹槽内。在扩散焊接的过程中，靶材的背面与背板的正面紧密贴合，最后成型的靶材组件在二者的接合位置不存在焊缝。从而可以改善靶材的溅射性能，同时在靶材组件的后续加工过程中也不会出现与焊缝相关的问题，有利于提高生产出来的靶材组件的质量。 | ||
| 搜索关键词： | 靶材 靶材组件 背面 背板 焊缝 后续加工过程 机械加工技术 焊接连接 接合位置 紧密贴合 凸出设置 正面设置 正面位置 扩散 溅射面 溅射 焊接 嵌入 成型 加工 匹配 承载 侧面 生产 | ||
【主权项】：
1.一种靶材组件，其特征在于，包括：/n靶材，所述靶材的表面包括正面以及背面，所述靶材的正面为所述靶材的溅射面，所述靶材的背面与所述靶材的正面位置相对，所述靶材的背面凸出设置有的第一台阶，所述第一台阶的侧面为斜面；/n背板，用于承载所述靶材，所述背板的正面设置有与所述第一台阶相匹配的第一凹槽，所述靶材的背面与所述背板的正面通过扩散焊接连接且所述第一台阶嵌入在所述第一凹槽内；/n所述靶材的表面还包括侧面，所述靶材的侧面分别与所述靶材的正面、所述靶材的背面以及所述背板的正面相邻，所述靶材的侧面与所述背板的正面的交界位置设置有经喷砂处理形成的环绕所述溅射面的喷砂区域；/n所述喷砂区域的第一喷砂线上的各点到所述溅射面的中心点的距离相同且所述喷砂区域的第二喷砂线上的各点到所述溅射面的中心点的距离相同，其中，所述第一喷砂线为所述喷砂区域的靠近所述溅射面的边界线，所述第二喷砂线为所述喷砂区域的远离所述溅射面的边界线，所述第二喷砂线高出所述背板的台阶面0.05mm，所述台阶面为所述背板的正面中未被所述喷砂区域环绕的部分表面。/n
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