[发明专利]靶材组件及加工方法

说明书

本发明涉及机械加工技术领域，提供一种靶材组件及加工方法。该靶材组件包括靶材以及用于承载靶材的背板。其中靶材的表面包括正面以及背面，靶材的正面为靶材的溅射面，靶材的背面与靶材的正面位置相对，靶材的背面凸出设置有的第一台阶，第一台阶的侧面为斜面。背板的正面设置有与第一台阶相匹配的第一凹槽，靶材的背面与背板的正面通过扩散焊接连接且第一台阶嵌入在第一凹槽内。在扩散焊接的过程中，靶材的背面与背板的正面紧密贴合，最后成型的靶材组件在二者的接合位置不存在焊缝。从而可以改善靶材的溅射性能，同时在靶材组件的后续加工过程中也不会出现与焊缝相关的问题，有利于提高生产出来的靶材组件的质量。

技术领域

本发明涉及机械加工领域，具体而言，涉及一种靶材组件及加工方法。

背景技术

扩散焊接是指将工件在高温下加压，但不产生可见变形和相对移动的固态焊方法。扩散焊特别适合异种金属材料、耐热合金和陶瓷、金属间化合物、复合材料等新材料的接合。在靶材组件的加工过程中，靶材和背板通常是通过扩散焊接的方法被焊接在一起的。然而，在现有技术中，靶材和背板在焊接后，其接合位置容易留下明显的焊缝，在靶材的溅射过程中，残留的焊缝会影响靶材组件表面的气流流向，导致靶材的溅射性能下降，同时在靶材组件的后续加工过程中，残留的焊缝可能进一步扩大，导致靶材变形等严重的质量问题。

发明内容

有鉴于此，本发明实施例提供一种靶材组件及加工方法，以解决上述技术问题。

本发明的实施例通过以下技术方案实现：

第一方面，本发明实施例提供一种靶材组件，包括：

靶材，靶材的表面包括正面以及背面，靶材的正面为靶材的溅射面，靶材的背面与靶材的正面位置相对，靶材的背面凸出设置有的第一台阶，第一台阶的侧面为斜面；

背板，用于承载靶材，背板的正面设置有与第一台阶相匹配的第一凹槽，靶材的背面与背板的正面通过扩散焊接连接且第一台阶嵌入在第一凹槽内。

在扩散焊接的过程中，靶材的背面与背板的正面在外界压力的作用下相互挤压，由于靶材的背面设置具有倾斜侧面的第一台阶，并且背板的正面设置有与之对应的第一凹槽，使得靶材的背面的每一个区域都充分受力，从而使靶材的背面与背板的正面紧密贴合，最后成型的靶材组件在二者的接合位置不存在焊缝。从而可以改善靶材的溅射性能，同时在靶材组件的后续加工过程中也不会出现与焊缝相关的问题，有利于提高生产出来的靶材组件的质量。

结合第一方面，在第一方面的第一种可能的实施方式中，靶材的表面还包括侧面，靶材的侧面分别与靶材的正面、靶材的背面以及背板的正面相邻，靶材的侧面与背板的正面的交界位置设置有经喷砂处理形成环绕溅射面的喷砂区域。

喷砂区域用于吸附靶材溅射过程中产生的杂质，在现有技术中，由于焊缝的存在，导致流经喷砂区域的气流的方向发生改变，从而导致喷砂区域的吸附性能下降，严重影响靶材的溅射性能。而在本发明实施实例中，由于解决了靶材与背板之间的焊缝问题，喷砂区域能够有效地吸附气流带来的杂质，从而改善靶材的溅射性能。

结合第一方面的第一种可能的实施方式，在第一方面的第二种可能的实施方式中，喷砂区域的第一喷砂线上的各点到溅射面的中心点的距离相同且喷砂区域的第二喷砂线上的各点到溅射面的中心点的距离相同，其中，第一喷砂线为喷砂区域的靠近溅射面的边界线，第一喷砂线为喷砂区域的远离溅射面的边界线。

喷砂区域具有整齐的喷砂线，从而在靶材的溅射过程中不会引发溅射异常。

结合第一方面的第二种可能的实施方式，在第一方面的第三种可能的实施方式中，溅射面与靶材的侧面的交界位置被构造为R角，该结构有利于溅射过程中气流的流动，使得溅射过程中产生的杂质能够顺利被喷砂区域所吸附。