[发明专利]一种半导体激光器合束装置

摘要

本发明公开了一种半导体激光器合束装置，所述半导体激光器合束装置通过激光模式选择装置使边缘的光没有被反馈回去，只有部分低阶的主要的激光模式被反馈，并且通过滤波器再一次进行模式选择，使慢轴光束两侧的边缘光都被过滤掉，只允许部分低阶的激光模式通过，入射至输出耦合镜上实现激光整体的谐振、相位锁定和输出。该合束装置实现了超越单管衍射极限的光束质量。

主权项

1.一种半导体激光器合束装置，其特征在于，所述合束装置包括：半导体激光器组、快轴准直镜组、慢轴准直镜组、快轴慢轴转换装置、傅里叶变换透镜、光栅、扩束装置、激光模式选择装置、滤波器和输出耦合镜；所述半导体激光器组发射出方向相同的光束组，所述光束组依次通过所述快轴准直镜组、所述慢轴准直镜组、所述快轴慢轴转换装置、所述傅里叶变换透镜、所述光栅和所述扩束装置后射出；其中，所述快轴准直镜组用于减小所述光束组的快轴方向发散角，所述慢轴准直镜组用于减小所述光束组的慢轴方向发散角；所述快轴慢轴交换装置用于交换所述光束组的快轴方向和慢轴方向；所述傅里叶变换透镜用于将所述光束组进行傅立叶变换且聚焦；所述光栅用于对聚焦后的光进行衍射；所述扩束装置用于将衍射后的光进行扩束处理；所述激光模式选择装置用于将扩束处理后的光束进行第一次激光模式选择，以选择部分低阶的光模式沿路反射；所述滤波器用于将所述激光模式选择装置处理后的光束进行第二次激光模式选择，以使部分低阶模式的光束通过所述滤波器入射至所述输出耦合镜进行输出。