[发明专利]一种快速调节等离子体放电阻抗匹配的方法

摘要

本发明公开了一种快速调节等离子体放电阻抗匹配的方法，结合射频微波中的能量传输和阻抗匹配理论和等离子体放电的物理机制，通过ADS软件模拟的方式对匹配状态进行预测和计算，根据实际调节元件的参数对匹配箱进行合理设计，从而在进行等离子体放电实验时快速调节阻抗匹配。本发明匹配调节用时短、成本低，具有普适性，对所有放电条件均能够提供调节匹配指导方案，为自动匹配技术提供发展方向。

主权项

1.一种快速调节等离子体放电阻抗匹配的方法，其特征在于，包括如下步骤：绘制Smith圆图；对于无耗匹配：在负载端设置一定值电感；选取等电阻圆R=1的上半圆、等电导圆G=1的上半圆以及对称线段的下半段将Smith圆图划分为三部分：等电阻圆R=1的上半圆与等电导圆G=1的上半圆围成的区域为区域1；等电导圆G=1的上半圆与对称线段的下半段围成的区域为区域2；等电阻圆R=1的上半圆与对称线段的下半段围成的区域为区域3；当负载点阻抗位于区域1时：负载端与定值电感断开，在负载端先并联一个电容、再串联一个电容；当负载点阻抗位于区域2时：在负载端先串联所述定值电感，然后并联一个电容，最后再串联一个电容；当负载点阻抗位于区域3时：在负载端先并联所述定值电感，然后并联一个电容，最后再串联一个电容；所述定值电感的电感值要求满足：当负载点阻抗位于区域2或区域3时，能够使负载点在Smith圆图上转动的弧度足够使负载点从当前所在区域移动到区域1；对于有耗匹配：根据负载点位置，串联或并联一电阻，以降低负载端的品质因数Q值，根据等Q值曲线确定电阻最小值。