[发明专利]双面镀膜设备及其载板处理单元在审
| 申请号： | 201810375105.3 | 申请日： | 2018-04-24 |
| 公开（公告）号： | CN110396673A | 公开（公告）日： | 2019-11-01 |
| 发明（设计）人： | 杨斌 | 申请（专利权）人： | 君泰创新(北京)科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/56 | 分类号： | C23C14/56;H01L31/18 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 100176 北京市大兴区北京经*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种双面镀膜设备及其载板处理单元，载板处理单元包括：与工作腔(4)连通的附加腔体(10)；用于将所述工作腔(4)内的载板(1)移至所述附加腔体(10)的处理装置(101)。本发明提供的载板处理单元，通过在附加腔体内设置处理装置，并使得附加腔体连通工作腔。由于工作腔设置在工艺腔前，通过处理装置将工作腔内的载板移至附加腔体，有效避免了具有碎片的载板进入工艺腔，避免碎片落到工艺腔的下镀膜装置上，确保了镀膜效果；避免了开腔处理的操作，提高了镀膜效率。 | ||
| 搜索关键词： | 载板 工作腔 处理单元 工艺腔 腔体 处理装置 双面镀膜 开腔 镀膜效果 镀膜效率 镀膜装置 腔体连通 设置处理 连通 体内 | ||
【主权项】：
1.一种载板处理单元，其特征在于，包括：与工作腔(4)连通的附加腔体(10)；用于将所述工作腔(4)内的载板(1)移至所述附加腔体(10)的处理装置(101)。
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