[发明专利]双面镀膜设备及其载板处理单元

说明书

本发明公开了一种双面镀膜设备及其载板处理单元，载板处理单元包括：与工作腔(4)连通的附加腔体(10)；用于将所述工作腔(4)内的载板(1)移至所述附加腔体(10)的处理装置(101)。本发明提供的载板处理单元，通过在附加腔体内设置处理装置，并使得附加腔体连通工作腔。由于工作腔设置在工艺腔前，通过处理装置将工作腔内的载板移至附加腔体，有效避免了具有碎片的载板进入工艺腔，避免碎片落到工艺腔的下镀膜装置上，确保了镀膜效果；避免了开腔处理的操作，提高了镀膜效率。

技术领域

本发明涉及光伏组件制造设备技术领域，特别涉及一种双面镀膜设备及其载板处理单元。

背景技术

目前，双面镀膜设备中，电池片在整个传输过程中由载板进行承载。

如图1、图2及图3所示，载板01为一个框体结构，对电池片的边缘进行支撑定位，以便于对电池片的上下面进行镀膜。载板01由底板011与盖板013组成。电池片放在载板底板011的凹槽012上，再用盖板013通过定位销与孔安装在底板011上，将电池片固定。盖板013上具有沉积窗口014。

如图4及图5所示，双面镀膜设备中，沿载板01的工艺流程方向为依此经过进片腔03、前置隔离腔04、前置缓冲腔05、工艺腔06、后置缓冲腔07、后置隔离腔08及出片腔09，进片腔03与工作腔04之间设置有第一门阀a1，前置隔离腔04与前置缓冲腔05第二门阀a2，后置缓冲腔07与后置隔离腔08之间设置有第三门阀a3，后置隔离腔08与出片腔09之间设置有第四门阀a4。由于电池片很薄，仅有180um-200um，在镂空的载板01上，电池片仅四周与载板01接触，其他部位完全悬空。

载板01进入进片腔03内后，进行真空工艺操作，需要对进片腔03进行抽真空操作。由于抽气出口安装在进片腔03底部，抽真空时，电池片上表面与下表面具有压差，电池片极易在此道工序内破碎。并且，进片腔03内还会对电池片进行加热，加热过程中，因载板01或电池片变形也会导致电池片破碎。

由于工艺腔06为用于镀膜沉积腔室，具有上镀膜装置061及下镀膜装置062，如果载板01中电池片破碎，载板01的中间会有一个空穴。镀膜工艺时，上镀膜装置061的膜层会通过缺口绕镀到电池片的下表面，而下镀膜装置062的膜层又会绕镀到电池片的上表面，导致该板缺口附近的电池工艺失败。

因此，如何确保镀膜效果，提高镀膜效率，是本技术领域人员亟待解决的问题。

发明内容

有鉴于此，本发明提供了一种载板处理单元，以确保镀膜效果，提高镀膜效率。本发明还公开了一种具有上述载板处理单元的双面镀膜设备。

为实现上述目的，本发明提供如下技术方案：

一种载板处理单元，包括：

与工作腔连通的附加腔体；

用于将所述工作腔内的载板移至所述附加腔体的处理装置。

优选地，上述载板处理单元中，所述处理装置设置在所述附加腔体内，能够伸入所述工作腔内拿取所述载板的机械手。

优选地，上述载板处理单元中，所述附加腔体与所述工作腔的排列方向垂直于所述载板的工艺流程方向；

所述载板的工艺流程方向为所述工作腔到所述工艺腔的方向。

优选地，上述载板处理单元中，所述工作腔内设置有用于检测所述载板是否有碎片的碎片检测装置。

本发明还提供了一种双面镀膜设备，包括如上述任一项所述的载板处理单元。

优选地，上述双面镀膜设备中，所述工作腔为前置隔离腔。