[发明专利]铝合金工装料盒的表面涂层形成方法在审
| 申请号： | 201810369621.5 | 申请日： | 2018-04-24 |
| 公开（公告）号： | CN108385149A | 公开（公告）日： | 2018-08-10 |
| 发明（设计）人： | 杨小可 | 申请（专利权）人： | 上海傲聚精密模塑有限公司 |
| 主分类号： | C25D11/16 | 分类号： | C25D11/16;C25D11/08;C25D11/10;C25D11/24 |
| 代理公司： | 上海恒锐佳知识产权代理事务所(普通合伙) 31286 | 代理人： | 张骥 |
| 地址： | 201315 上海*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种铝合金工装料盒的表面涂层形成方法，包括以下步骤：第一步，对料盒表面进行酸碱清洗；第二步，对料盒表面进行阳极氧化处理；第三步，一次真空烘烤；第四步，等离子刻蚀；第五步，引入纳米级氟聚合物；第六步，二次真空烘烤。本发明通过在铝合金工装料盒的表面形成涂层，能够显著增加铝合金工装料盒的耐磨性，避免芯片封装基板与工装料盒之间因摩擦而产生铝合金碎屑的现象，从而提高芯片的良率。 | ||
| 搜索关键词： | 装料盒 铝合金 表面涂层 真空烘烤 料盒 表面形成涂层 芯片封装基板 阳极氧化处理 等离子刻蚀 铝合金碎屑 耐磨性 氟聚合物 纳米级 良率 酸碱 清洗 摩擦 芯片 引入 | ||
【主权项】：
1.一种铝合金工装料盒的表面涂层形成方法，其特征在于，包括以下步骤：第一步，对料盒表面进行酸碱清洗；第二步，对料盒表面进行阳极氧化处理；将料盒表面与阳极氧化电解液在反应条件下进行阳极氧化反应，在料盒表面形成硬质阳极氧化膜；第三步，一次真空烘烤；对料盒表面所形成的硬质阳极氧化膜进行真空烘烤；第四步，等离子刻蚀；对料盒表面所形成的硬质阳极氧化膜进行低温等离子刻蚀，使金属料盒表面的水接触角小于15°；第五步，引入纳米级氟聚合物；采用聚四氟乙烯分散乳液，利用二次电解法引入纳米级氟聚合物；将料盒表面浸没于聚四氟乙烯分散乳液中进行二次电解；第六步，二次真空烘烤；对料盒表面进行二次真空烘烤。
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