[发明专利]一种单晶硅坩埚在审
| 申请号： | 201810360199.7 | 申请日： | 2018-04-20 |
| 公开（公告）号： | CN108330532A | 公开（公告）日： | 2018-07-27 |
| 发明（设计）人： | 周俭 | 申请（专利权）人： | 周俭 |
| 主分类号： | C30B15/10 | 分类号： | C30B15/10;C30B29/06 |
| 代理公司： | 北京元中知识产权代理有限责任公司 11223 | 代理人： | 王明霞 |
| 地址： | 上海市浦东新区祖*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种单晶硅坩埚，包括坩埚部本体，配置为盛放石英坩埚；所述坩埚部包括第一坩埚单元，配置为坩埚部的底部；第二坩埚单元，与第一坩埚单元连接，形成坩埚部的侧壁；孔单元，设置于第二坩埚单元，连通坩埚部的内外空间；孔单元在第二坩埚单元圆周方向上所占的比例，自坩埚部底部一侧向另一侧逐渐增大。本发明采用碳‑碳复合材料作为坩埚侧壁，减少侧壁厚度，增大坩埚的容积，提高了单晶硅的产量；侧壁孔单元的设置，提高了加热器发热体对石英坩埚及硅熔体的热量传递，通过在侧壁上设置不同尺寸、不同形状或者分布密度不同的孔单元，可以有效控制硅熔体内部温度梯度的分布，控制硅熔体的对流，从而降低单晶硅的氧含量。 | ||
| 搜索关键词： | 坩埚 单晶硅 侧壁 石英坩埚 硅熔体 加热器 碳复合材料 单元连接 热量传递 温度梯度 有效控制 逐渐增大 坩埚侧壁 侧壁孔 发热体 体内部 连通 配置 盛放 对流 | ||
【主权项】：
1.一种单晶硅坩埚，包括坩埚部(1)本体，配置为盛放石英坩埚；其特征在于：所述坩埚部(1)包括第一坩埚单元(2)，配置为坩埚部(1)的底部；第二坩埚单元(3)，与第一坩埚单元(2)连接，形成坩埚部(1)的侧壁；孔单元(4)，设置于第二坩埚单元(3)，连通坩埚部(1)的内外空间；孔单元(4)在第二坩埚单元(3)圆周方向上所占的比例，自坩埚部(1)底部一侧向另一侧逐渐增大。
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